実験用真空ポンプ ATH 1600 M series

ターボ分子

ATH 1600 MT、DN 200 ISO-F、外部ドライブエレクトロニクス、水冷式、非加熱 注文番号：P6522103 5軸磁気浮上ターボポンプ、N2 DN 200 CF-Fフランジで最大1360 l/sのポンプ速度を実現し、 要求の厳しいUHVアプリケーション向けのN2 DN 200 CF-Fフランジ で最大13HVモジュールによる動作エレクトロニクス 任意の方向でのインストール 水冷式, 加熱された CEマークとROHS準拠 技術データ Arのための磁気圧縮比ベアリング > 1・108 H2の圧縮比 > 5・102 彼のための圧縮比> 4・103 N2の圧縮比 > 1・108 冷却方法水 冷方法、標準水 冷水流60リットル/時間 冷却水の流れ、最大60リットル/時間 冷却水の流れ、最小60リットル/時間 冷却水温15-25°C | 59-77°F | 288-298 K 腐食性ガスバージョン YES 電子駆動ユニット外部ドライブエレクトロニクス フランジ（in）DN 200 CF-F フランジ（アウト）DN 40 ISO-KF 前真空最大 N2 2.2 hPa | 1.65 Torr | 2.2 mbar Arはフル回転速度でのガススループット、75 °C 8.5 hPa·l/s での加熱ポンプ H2 のフル回転速度でのガススループット、75 °C> 16.9 hPa·l/s での ガススループット、N2 のフル回転速度でのガススループット、75 °Cの加熱ポンプ 16.9 hPa·l/s Ar用ガス・スループット 20.3 hPa·l/s H2 > 67.6 hPa·l/s 用ガス・スループット > 67.6 hPa·l/s ガススループット N2 67.6 hPa·l/s I/Oインターフェース用ガス・スループット外部ドライブ・エレクトロニクス 取り付け方向任意の 動作電圧:50/60 Hz 200 — 240/200— 240, 50/60 Hz V AC 微粒子状物質 YES 究極圧力での消費 電力 300 W 消費電力最大 650 W Ar用ポンピング速度 1280 l/s H2 540 l/s 用ポンピング速度