光学プロフィロメータ TopMap Micro.View®+

多目的3Dトポグラフィー

表面粗さや微細構造の形状測定のための、あらたな次元の光学式三次元形状測定器 ワンランク上の非接触 表面粗さ・形状測定なら TopMap Micro.View +は、次世代の光学式形状測定器です。この総合的なワークステーションは、モジュール方式のデザインによって、それぞれのアプリケーションの要求に合わせた特有の構成を可能にします。Micro.View +は、表面粗さ、表面の詳細、および微細構造の形状測定について、詳細な分析を提供します。3D データをカラー情報と組み合わせて、欠陥を詳細に記録するなどの見事な視覚化や広範囲の分析を実現します。高解像度カメラは、非常に詳細な設計表面の 3D データを視覚化します。 特長 ナノメートルの分解能を持つハイエンド白色光干渉計 CST (Continuous Scanning Technology) による 100 mm の z 方向測定レンジ フォーカスファインダおよびフォーカストラッカによる自動化 電動による X、 Y、 Z 位置決め、角度調整 および ターレットによる配置の省力化 欠陥を詳細に分析し記録するためのカラー情報モード モジュール方式によるアプリケーションに合わせた構成 自動化対応および生産への適用 エンコードされ電動化されたターレットは、対物レンズをシームレスに入れ換えします。Micro.View +は、最新のフォーカスファインダおよびフォーカストラッカを備えており、あらゆる状況で表面にフォーカスを合わせます。完全に電動化されたサンプル位置決めステージにより、スティッチングおよび自動化を実現します