ガス圧力調整器 RX2200

ヘリウム実験用医療

RX2200は、HP＆UHPアプリケーション用のダイアフラム圧力レギュレータです。スプリングレス、スレッドレス設計により、ガスの純度を最高レベルに保ちます。 主な特長 100%の機能性＆ヘリウムリークテスト実施済み ハステロイ®ダイアフラム 最高のUHP要件に対応する内部スプリングとスレッドレス構造 クリーンルームでの組み立て、テスト、パッケージング。クラスISO 4 完全なトレーサビリティのための個別のシリアル番号 耐腐食性内部オプションありハステロイ®ポペット SEMI F19 UHPグレードに準拠した電解研磨による表面粗さ 接液部のコーティングオプションあり SEMI F20 準拠の 316L VAR® ステンレス鋼のダブルメルトオプションが利用可能 標準オプションとして、流体別シート材を用意 マルチポートの追加オプション 仕様 最大入口圧力 240 bar 出口圧力 3/8/10/15/25/50 bar 温度範囲 -20°C ～ +65°C 流量容量（cv） 0.2 破裂圧力* - 作動圧力の 300 プルーフ圧力* - 作動圧力の 150 供給圧力効果 i* 1.35 bar / 100 bar 認定最大ヘリウム船外実験室リーク率 ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s 認定最大ヘリウムリークレート（最大圧力時）- ≤ 1 x 10-7 mbar.l/s 認定最大ヘリウムインボードリークレイト（最大圧力時） ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s