RX2500は、HP & UHPアプリケーション用のダイアフラム圧力レギュレータです。スプリングレス構造により、最高水準のガス純度を維持します。標準タイプと高流量タイプの2種類があります。
主な特長
100%の機能性とヘリウムリークテストの実施
ハステロイ®ダイアフラム
内部スプリングレス
クリーンルームでの組立、試験、包装。クラスISO 4
完全なトレーサビリティのための個別のシリアル番号
耐腐食性内部オプションありハステロイ® ポペット
SEMI F19 UHPグレードに準拠した電解研磨表面粗さ
SEMI F20に準拠した316L VAR®ステンレス鋼のダブルメルトオプションが利用可能
高流量(HF)バージョン(Cv:1.2)最大1150 SLPMまで対応可能
標準オプションとして、流体に適したシート材を用意
マルチポートの追加オプション
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