M8SIはHP & UHPアプリケーション用のダイヤフラムバルブです。そのスプリングレス設計はガスの純度を最高レベルに維持します。M8SIには低圧、中圧、高圧のバージョンがあります。マルチターン、1/4回転のハンドホイール、空気圧式アクチュエーターなど、さまざまな駆動方式をご用意しています。マルチターンバルブには、開閉表示ハンドルが付属しています。パネルに取り付けることができます。
主な特長
100%ヘリウムリークテスト実施
クリーンルームでの組み立て、テスト、パッケージング。クラスISO 4
リバースシートデザインによる高いライフサイクル
完全なトレーサビリティのための個別のシリアル番号
SEMI F19 UHPグレードに準拠した電解研磨表面粗さ
流体に適したシート材を標準オプションで提供
低内部容積
マルチポートの追加オプション
270°マルチターンハンドホイール(開閉表示付き
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