医療弁 M20

医療ガスステンレス製

M20 は HP & UHP 用のダイヤフラムバルブです。スプリングレス構造により、ガスの純度を最高レベルに保ちます。M20 は 15 bar までの低圧用です。マルチターンハンドホイールまたは空気圧アクチュエータの2種類の駆動方式があります。 主な特長 100%のヘリウムリークテストを実施 3/4 "から1 "までのサイズを用意し、幅広い接続に対応。 クリーンルームでの組み立て、テスト、パッケージング。クラスISO 4 完全なトレーサビリティのための個別のシリアル番号 SEMI F19 UHPグレードに準拠した電解研磨による表面粗さ SEMI F20に準拠した316L VAR®ステンレス鋼のダブルメルトオプションが利用可能 オプションのパージポートによる優れたパージ性 標準オプションで、流体に適したシート材を選択可能 交換可能なシート 仕様 空気圧式操作部開放圧力 5～7 bar 流量（cv） 3.5 公称シート径 20 Mm 公称シート径 > 700 bar バースト圧 ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s 認定最大ヘリウム漏れ率 ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s 認定最大ヘリウム漏れ率（最大圧力時）- ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s 認定最大ヘリウムインボードリークレイト（最大圧力時）≤ 1 x 10-9 mbar.l/s