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光学プロフィロメータ S neox Five Axis検査用3D共焦点
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特徴
- タイプ
- 光学
- 用途
- 検査用
- 観察法
- 3D, 共焦点
- 構成
- 卓上
- 倍率
5 unit, 20 unit, 50 unit, 100 unit, 150 unit
- 分解能
460 nm, 530 nm, 575 nm, 630 nm
- 長さ
635 mm
(25 in)- 幅
539 mm
(21.2 in)- 高さ
794 mm
(31.3 in)
詳細
S neox Five Axis 光学式3次元測定装置は、高精度回転ステージモジュールと、S neox 3D測定顕微鏡の高度な検査および解析機能を組み合わせています。これにより、指定された位置・角度で自動的に3D表面形状測定を行い、完全な3D形状計測が可能になります。
測定原理
幅広いスケールをカバー
S neoxの3D測定技術は、形状（Ai焦点移動）、サブナノメーター粗さ（干渉計）、高い水平方向および垂直方向の解像度を必要とする寸法精度（共焦点）測定まで広範囲のスケールをカバーします。
測定原理
最高の多機能性
S neox Five Axisは、定義された位置で自動的に3D表面測定を実行し、その結果を組み合わせて完全な3D形状を生成します。は表面の形状と粗さを計測できます
カタログ
S neox Five Axis
12 ページ
