厚さ試験機 SK-FTM

実験用自動コンパクト

小型膜厚計は、小型反射プローブを使用した反射型分光測光膜厚計で、ラボレベルから生産工程でのインライン全数検査まであらゆる場面で使用できます。メンテナンス性に優れ、プロセス装置への組込みやライン管理にも活用できる。 最大9種類の透明フィルムの同時測定が可能。 各種多層フィルム工程のインラインモニター、エンドポイントモニターとして使用できます。 コンパクトなプローブは、プロセスツール内のわずかなスペースに設置可能です。また、EMA理論により混合層の混合比やポリシリコンの結晶性の判定も可能です。 光ファイバー付き小型プローブ プロセスツール内のわずかなスペースに設置できます。 膜厚測定の再現性が良い 0.1 nm(3a) 最大9層までの多層膜厚測定が可能 材料分析機能 - EMAによる複合材料の混合比評価 - 結晶化度と光学定数の解析 ワイヤレス（オプション） 膜厚終点検出ソフトウェア付属 自動マッピングステージ（オプション） 推奨システム要件 室温：18～45 長期使用<±2.0℃/24時間 短期< ±1.0℃/1時間 湿度 : 45±20% (結露なきこと)