厚さ試験機 SK-iFTM

医用画像用医療用

顕微画像分光法による、透明多層膜の膜厚分布を可視化できる膜厚計です。 光干渉法により膜厚を計算しているため、 0.1nm以下の分解能で膜厚分布を3D表示可能です 膜厚分布をその場で可視化 顕微鏡視野内の任意領域の 膜厚・膜質分布を 測定し、分布を３D表示 膜厚測定分解能 0.1nm以下 可視波長光干式膜厚計と同等の分解能 450nmから750nmの波長範囲を1nm単位で指定可能 高速・多層膜同時測定 ９層対応 反射式膜厚モニタと同じ計算エンジンを使用し並列演算 応用対象例 ① 数百層の繰り返し積層膜、トレンチなどの複合構造 ② EMA（有効媒質近似）法によるサブミクロンパターンの密度推定 ③ 局所的な結晶性評価 対物レンズと領域指定による任意領域の膜厚分布測定 ワークとアプリケーションに応じて対物レンズをご選択いただけます