厚さ試験機 SK-tFTM-IR

実験用コンパクトインライン

赤外線シート厚みモニターは、バッテリーセパレーターなどの半透明シート、ブラックレジストなどの低反射コーティング、シリコンの厚みを測定します。赤外線吸収システムは、透過型光学系を備えたコンパクトなミラープローブで構成されており、膜厚、密度、組成など複数のパラメータを100以上の波長で同時に測定することができます。 1 光干渉法では困難であった透光性シート、低反射膜、シリコン等の膜厚測定が可能。 2 小型プローブ 30mmの小型反射プローブを採用することで、装置や生産ラインの狭いスペースに設置することができます。また、プローブ本体との接続は光ファイバーケーブルのみであるため、耐環境性にも優れています。 高速測定 近赤外波長950nm～1650nmを100点以上同時サンプリング 4 厚み測定再現性 0.1%以下(3σ)