液体は、振動する表面に接触することで噴霧されます。
超音波ノズルでは、さまざまなサイズの液滴や粒子が生成されます。
超音波の周波数が高いほど、エアロゾル粒子は小さくなる(数μm)。
2つの原理があります。
- 20kHz~100kHzの周波数範囲内で、液体が振動面に接触して噴霧される。
振動している表面に接触することで液体が噴霧される。
- 100kHz以上の周波数帯では、液体の底に超音波エミッタを設置します。音場によって液体の表面に噴水が発生し、そこからエアロゾルが発生します。
加湿
- 医療用エアロゾル
- 微細な層の塗布
- 環境への拡散
- プロッタの製造
- 閉じ込められた雰囲気の制御
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