当社のクリーンルームシステムは、独自空調システム「クリエコ®」によりランニングコストを削減。また、温度・湿度の高精度制御も可能です。既存の工場や事務所にも内部設備に適応した設計で対応いたします。また、ナノメートルオーダの加工精度が要求される場合は、さらに高精度に温度・湿度を制御できる精密温調装置サーマルキューブ®がございます。
クリーンルームシステムの特長
1.省エネ
独自空調システム「クリエコ®」によりランニングコストを最大60%削減いたします(当社従来比)。
2.高精度温調が可能
クリーン度だけでなく、温度・湿度の高精度制御が可能です(温度±1℃、湿度±5%)。
3.低湿度環境も実現
露点温度-60℃が実現可能です。
4.既設建屋内の既存設備に適応
既存の工場や事務所の内部設備に適応した設計で対応いたします。
5.小面積も対応可能
100m2を下回るような小規模なクリーンルームも対応いたします。
クリーンゾーンの最小化でコストダウンを実現します。
6.クリーンルーム関連機器も豊富にラインアップ
自社製品ですので、豊富な関連機器を低コストで設置いたします。