デジタル加熱プレート WAFERPLATE™

実験液体用

加熱面全体で 1% を超える温度均一性を備えた大きな円形のミルドフラット アルミニウム表面。直径 12 インチ (304.8 mm) 以下のシリコンウェーハや、温度精度と表面の均一性が必須となるその他のサンプルを扱うために特別に設計されています。 説明 Torrey Pines Scientific WaferPlate™ Programmable Bake Plate は、完全にプログラム可能なデジタル ホット プレートで、シリコン ウエハーを焼くために特別に設計されています。手動操作では、目標温度を設定するだけで、ユニットはその正確な温度に到達し、± 1 °C 以内に保持します。プログラマブル モードでは、ルーチンをメモリに保存して、すぐに呼び出して使用できます。保存されたルーチンは自動的に実行され、まったく同じように何度も実行されます。 プログラムは、必要に応じて単純にも複雑にもできます。複数の温度、必要に応じて昇温速度、および滞留時間を保存できます。これらのプログラムは、ユニットに付属のリモート コントローラに書き込んで保存することができます。または、ユーザーが PC に書き込んで RS-232 I/O ポートを介してその PC で実行する場合、プログラムは必要に応じて単純または複雑にすることができます。ヒーターの裏側。