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限外濾過用濾過システム
ultraclean®
衛生施設用
層流
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衛生施設用
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層流
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Laminar Flow ultraclean®は、垂直で乱流の少ない置換流で動作し、作業エリアではISO 14644-1に準拠した純度クラス5の要件を満たします。クリーンルームユニットの下には恒久的な過圧があり、粒子が充填エリアや作業エリアに侵入するのを防ぎます。
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