Hitachiの透過型電子顕微鏡顕微鏡

倍率 : 3,000,000 unit
分解能: 0.7, 0.4, 1.2, 0.8 nm

コールドFE電子源は、他の電子源と比べて光源径やエネルギー幅が小さいので、高分解能観察に適しています。さらに高輝度かつ安定性な新型コールドFE電子銃を搭載したSU9000IIは高分解能観察のみならず、高品質な元素分析が可能です。それらの性能を発揮したデータを安定して取得できるよう、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 また、インレンズ形対物レンズを備えたSU9000IIは、EELSの測定が可能です。 SU9000II ...

倍率 : 20 unit - 8,000,000 unit
分解能: 0.08, 0.1 nm

... 。 走査透過電子顕微鏡｢HD-2700｣搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。 ...

倍率 : 600,000, 800,000, 1,000,000 unit
分解能: 0.14, 0.19, 0.2 nm

透過電子顕微鏡（以下、TEM：Transmission electron microscope）は、医学・生物学分野での研究・診断から食品・高分子・化学・ナノ材料の研究・開発まで、幅広い分野で活用されており、微細構造の形態観察に必要不可欠なツールとなっている。今回、様々な分野に対応するため、120 kV透過電子顕微鏡（TEM）HT7800シリーズを開発した。 本シリーズでは、高コントラストを極めたレンズを搭載し、広視野高コントラスト観察を実現するHT7800と、クラス最高レベルの分解能をもつ ...

分解能: 0.7, 1.5, 4, 50, 60 nm

... 高性能FE-SEMカラム 超高分解能観察（HRモード：セミインレンズ） リアルタイム高精度端点検出（FFモード：フィールドフリー（時間共有モード） 2.ハイスループット材料処理 高イオン電流密度による超高速加工（最大ビーム電流：100 nA） 自動処理および観察のためのユーザープログラム可能なスクリプト 3.マイクロサンプリングシステム アンチカーテイング効果（ACEテクノロジー）のための完全に統合されたサンプル方向制御 あらゆる方向で均一なラメラのTEM試料調製 4.トリプルビーム対応 ...

分解能: 4, 1.6, 2.1 nm

... 」は、最新の3次元構造解析やTEM・3DAP解析に対応するため、真の高分解能シリアルセクショニングに最適化されたレイアウトを採用しています。先端材料、電子デバイス、生体組織など幅広い分野で、最高精度の材料加工を可能にします。 特長 SEMカラムとFIBカラムを直交配置することで、カラムの位置決めを最適化し、3次元構造解析を実現。 高輝度冷陰極電子源と高感度光学系の組み合わせにより、生体組織から磁性材料まで幅広い材料の解析をサポートします。 マイクロサンプリングシステムとトリプルビームシステム ...

分解能: 2.8, 3.5, 4, 60 nm

... FIB-SEMシステムは、最新技術や高性能ナノスケール材料の特性評価や分析に不可欠なツールとなっています。FIB処理中にアーチファクトを発生させない超薄膜TEMラメラに対する要求はますます高まっており、最高のイオンおよび電子光学技術が必要とされています。 日立の高性能FIBおよび高分解能SEMシステムNX2000は、独自の試料姿勢制御*とトリプルビーム*技術により、最先端アプリケーションのための高スループットで高品質なTEM試料作製をサポートします。 * ...