Hitachiの卓上顕微鏡

倍率 : 3,000,000 unit
分解能: 0.7, 0.4, 1.2, 0.8 nm

コールドFE電子源は、他の電子源と比べて光源径やエネルギー幅が小さいので、高分解能観察に適しています。さらに高輝度かつ安定性な新型コールドFE電子銃を搭載したSU9000IIは高分解能観察のみならず、高品質な元素分析が可能です。それらの性能を発揮したデータを安定して取得できるよう、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 また、インレンズ形対物レンズを備えたSU9000IIは、EELSの測定が可能です。 SU9000IIは日立FE-SEMの最上位機種です。 低収差レンズの最高峰であるインレンズ型対物レンズを搭載したSU9000IIは、世界最高分解能 ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.7, 0.6 nm

FE-SEMは、得られる画像の分解能が高く、またその情報の豊富さや試料の取り扱いが比較的簡便なことから、ナノテクノロジー、半導体・エレクトロニクス、ライフサイエンス、材料などの幅広い分野において、微細構造の観察から計測、分析まで多岐にわたって活用されています。近年のマテリアルズ・インテグレーションをはじめとしたその活用分野・用途の広がりに伴い、大量データの短時間取得やそれに要する負荷の低減が求められています。 こうしたニーズに応え、2021年12月に発売したSU8600/SU8700では日立ハイテクがこれまで培ってきた高分解能FE-SEMとしての性能に加えて、大量データ取得を支援する自動化機能を強化しています。 今後、多くのデータを必要とするデータ駆動型研究開発の進展が予想される中、本製品群により大量データの短時間取得やユーザーの負荷低減を支援します。 電子光学系の自動調整機能を搭載 FE-SEMの観察や分析では対象や目的に応じて観察条件を変更し、その度に電子光学系条件を調整する作業が生じます。調整に要する時間はユーザーの熟練度によって異なり、このことがデータの質やスループットのばらつきを生じさせる一因になっています。SU8600/SU8700には、電子光学系の調整作業を自動化する機能が搭載され、安定した光学条件維持を可能にしています。 ワークフローに応じた自動データ取得レシピ作成支援オプション「EM ...

倍率 : 5 unit - 800,000 unit
分解能: 4, 15, 3 nm

日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800/SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。 多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です ①大型試料に対応 ■大型/重量試料対応ステージ リスクを低減する試料交換シーケンス スループットを向上する試料交換室 自由度を高める、ステージ移動制限解除機能* ...

倍率 : 50,000, 60,000, 10,000, 30,000, 15,000 unit
分解能: 4, 5 nm

... 加速電圧20 kVで像分解能 4.0 nmを実現しています。新開発のユーザーインターフェースは、明るさやフォーカスの自動調整機能の高速化により、短時間で多彩な観察を可能にします。また、電子顕微鏡の欠点であった視野探しの困難さを容易にする新ナビゲーション機能「SEM MAP」を搭載し直観的な視野移動を実現しています。 卓上設置可能なコンパクトサイズ*1でありながら、分解能4.0 nmを実現 独自の高感度二次電子、反射電子検出器、低真空検出器（UVD*2）により、低加速/低真空観察時の高画質化を実現 ...

倍率 : 10 unit - 250,000 unit
重量: 54 kg
長さ: 617, 614 mm

もっと、高画質に、もっと使いやすく、見やすくをコンセプトに開発したTM4000シリーズはさらに機能を拡張したTM4000Ⅱシリーズを発売。 新たな観察・分析アプリケーションをご提供します。 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。 Camera Navi*を使えば、こんなに簡単 カメラナビ画像で迷わず視野探し、MAP機能で観察をサポート 基本操作はこんなに簡単・スピーディ 画像観察までわずか3分。 目的のデータを素早く取得し、レポート作成が可能。 Report ...

倍率 : 5 unit - 600,000 unit
分解能: 0.9, 2.5, 1.6 nm

... ラージチャンバーモデルは異物や欠陥分析に最適な結果を提供し、品質と歩留まりの向上に貢献します。一方、Plusモデルは微細な表面構造の観察に最適で、電子部品や半導体製造の改善機会を創出する。 特徴 アプリケーションの幅を広げる大型試料室搭載のショットキーSEM 電子顕微鏡による形状評価は、あらゆる材料評価・解析の基本です。試料をそのままの形状でマウントして観察したいという要求は常に存在します。 SU3900SE/SU3800SEシリーズは、高剛性の多目的試料室を搭載し、試料をそのまま搭載することが可能です。 これにより ...

分解能: 0.7, 1.5, 4, 50, 60 nm

... 日立Ethos FIB-SEMは、優れたビーム輝度と安定性を備えた最新世代のFE-SEMです。Ethosは、ナノスケールの精密加工のためのイオン光学系と組み合わせた低電圧での高解像度イメージングを提供します。 主な特長 1.デュアルレンズモード付き高性能FE-SEMカラム 超高分解能観察（HRモード：セミインレンズ） リアルタイム高精度端点検出（FFモード：フィールドフリー（時間共有モード） 2.ハイスループット材料処理 高イオン電流密度による超高速加工（最大ビーム電流：100 ...

分解能: 4, 1.6, 2.1 nm

... することで、従来のFIB-SEM装置では避けられなかった断面撮影時のアスペクト変形、断面画像のフォアショート、視野（FOV）のシフトを解消。NX9000の画像は、高精度な3次元構造解析を可能にします。表面プラナーEMイメージングの利点により、光学相関顕微鏡法を容易に適用できます。 カット＆シー Cut&Seeは、低加速電圧で生体組織、半導体、鉄やニッケルなどの磁性材料の高解像度、高コントラストイメージングをサポートします。 ...

分解能: 2.8, 3.5, 4, 60 nm

... FIB-SEMシステムは、最新技術や高性能ナノスケール材料の特性評価や分析に不可欠なツールとなっています。FIB処理中にアーチファクトを発生させない超薄膜TEMラメラに対する要求はますます高まっており、最高のイオンおよび電子光学技術が必要とされています。 日立の高性能FIBおよび高分解能SEMシステムNX2000は、独自の試料姿勢制御*とトリプルビーム*技術により、最先端アプリケーションのための高スループットで高品質なTEM試料作製をサポートします。 * オプション 特長 高コントラスト、リアルタイムSEMエンドポイント検出により、20 ...