Hitachiの走査電子顕微鏡

倍率 : 3,000,000 unit
分解能: 0.4, 0.7 nm

コールドFE電子源は、他の電子源と比べて光源径やエネルギー幅が小さいので、高分解能観察に適しています。さらに高輝度かつ安定性な新型コールドFE電子銃を搭載したSU9000IIは高分解能観察のみならず、高品質な元素分析が可能です。それらの性能を発揮したデータを安定して取得できるよう、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 また、インレンズ形対物レンズを備えたSU9000IIは、EELSの測定が可能です。 日立FE-SEM ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.6, 0.8, 0.9 nm

SU8700は高空間分解能と多様な信号検出による観察能力で、デバイスや材料の解析からライフサイエンスまで幅広い分野での観察・分析業務をサポートします。 ショットキーFE電子銃搭載により、極低加速電圧観察から大照射電流を要する高速分析まで幅広い解析手法に対応します。 光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 * 装置写真はオプション付属の状態です。 価格：お問い合わせください 取扱会社：株式会社 ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.7, 0.6 nm

... により、低エネルギー/低電流条件でも高いS/Nの画像を提供します。 高コントラストの低加速反射電子像 ExB光学系と検出信号制御機能により、目的に応じて二次電子/反射電子信号を分離しての画像取得が可能です。 右の画像では3D NANDキャパシタ部の酸化膜と窒化膜の層構造を反射電子の組成コントラストで観察しています。 高速応答性反射電子検出 新規開発されたシンチレータ型反射電子検出器（OCD）は応答速度の向上により、観察部位を特定しやすくなりました。 右の画像は1秒未満 ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.9, 0.8 nm

... * 装置写真はオプション付属の状態です キーコンセプト 1.多彩なイメージング能力 広視野全体像から表面微細構造まで、SU7000は多様な信号の迅速取得を目ざして設計されました。 複数の二次電子信号・反射電子信号が同時に取得できるようにデザインされた電子光学系/検出系はより短い時間で多くの情報をユーザーにもたらします。 2.マルチチャンネルイメージング イメージングニーズの増加に伴い、装着される検出器の数も増加していますが、表示もそれに見合う機能が必要です。 ...

倍率 : 10 unit - 250,000 unit
重量: 54 kg
幅: 330 mm

... にあわせて観察できます。 低真空下での二次電子像（表面形状）観察を実現します。 前処理不要で絶縁物や水分・油分を含む試料の表面観察を実現 これまでの導電性試料の観察だけでなく、絶縁物や含水・含油試料まで前処理なしでそのまま観察できます。二次電子像⇔反射電子像の切替も素早く行えます。 高感度低真空二次電子検出器 高感度低真空二次電子検出器（UVD）を採用。電子線と残留ガス分子との衝突によって発生した光を検出することにより、二次電子情報を持った画像を観察することができます。また ...

分解能: 4, 60, 0.7, 50, 1.5 nm

「Ethos」は、日立ハイテクのコア技術である高輝度冷陰極電界放出型電子銃と新開発の電磁界重畳型レンズにより、低加速電圧での高分解能観察を可能とし、リアルタイムFIB加工観察と両立しました。 さらに、SEMカラム内に3つの検出器を搭載することで、二次電子による形状コントラストや反射電子による組成コントラストを同時観察でき、ナノメータースケールの構造物を見逃すことなく観察・解析し、特定箇所を正確に捉えたFIB加工を可能としています。 また新設計の大容量試料室には、EDS*1やEBSD*2 ...