Hitachiの走査電子顕微鏡

倍率 : 3,000,000 unit
分解能: 0.7, 0.4, 1.2, 0.8 nm

コールドFE電子源は、他の電子源と比べて光源径やエネルギー幅が小さいので、高分解能観察に適しています。さらに高輝度かつ安定性な新型コールドFE電子銃を搭載したSU9000IIは高分解能観察のみならず、高品質な元素分析が可能です。それらの性能を発揮したデータを安定して取得できるよう、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 また、インレンズ形対物レンズを備えたSU9000IIは、EELSの測定が可能です。 SU9000II ...

倍率 : 5 unit - 800,000 unit
分解能: 4, 15, 3 nm

日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800/SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。 多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です ①大型試料に対応 ■大型/重量試料対応ステージ リスクを低減する試料交換シーケンス スループットを向上する試料交換室 自由度を高める、ステージ移動制限解除機能* ...

倍率 : 50,000, 60,000, 10,000, 30,000, 15,000 unit
分解能: 4, 5 nm

... を実現。 新開発のユーザーインターフェース、電子光学系が高性能をさらに身近にします。 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。 特長 FlexSEM 1000 IIは、新設計の電子光学系と高感度検出器により、加速電圧20 kVで像分解能 4.0 nmを実現しています。新開発のユーザーインターフェースは、明るさやフォーカスの自動調整機能の高速化により、短時間で多彩な観察を可能にします。また、電子顕微鏡の欠点であった視野探しの困難さを容易にする新 ...

倍率 : 10 unit - 250,000 unit
重量: 54 kg
長さ: 617, 614 mm

... にあわせて観察できます。 低真空下での二次電子像（表面形状）観察を実現します。 前処理不要で絶縁物や水分・油分を含む試料の表面観察を実現 これまでの導電性試料の観察だけでなく、絶縁物や含水・含油試料まで前処理なしでそのまま観察できます。二次電子像⇔反射電子像の切替も素早く行えます。 高感度低真空二次電子検出器 高感度低真空二次電子検出器（UVD）を採用。電子線と残留ガス分子との衝突によって発生した光を検出することにより、二次電子情報を持った画像を観察することができます。また ...

分解能: 0.7, 1.5, 4, 50, 60 nm

... 高性能FE-SEMカラム 超高分解能観察（HRモード：セミインレンズ） リアルタイム高精度端点検出（FFモード：フィールドフリー（時間共有モード） 2.ハイスループット材料処理 高イオン電流密度による超高速加工（最大ビーム電流：100 nA） 自動処理および観察のためのユーザープログラム可能なスクリプト 3.マイクロサンプリングシステム アンチカーテイング効果（ACEテクノロジー）のための完全に統合されたサンプル方向制御 あらゆる方向で均一なラメラのTEM試料調製 4.トリプルビーム対応 ...

分解能: 4, 1.6, 2.1 nm

... 」は、最新の3次元構造解析やTEM・3DAP解析に対応するため、真の高分解能シリアルセクショニングに最適化されたレイアウトを採用しています。先端材料、電子デバイス、生体組織など幅広い分野で、最高精度の材料加工を可能にします。 特長 SEMカラムとFIBカラムを直交配置することで、カラムの位置決めを最適化し、3次元構造解析を実現。 高輝度冷陰極電子源と高感度光学系の組み合わせにより、生体組織から磁性材料まで幅広い材料の解析をサポートします。 マイクロサンプリングシステムとトリプルビームシステム ...

分解能: 2.8, 3.5, 4, 60 nm

... FIB-SEMシステムは、最新技術や高性能ナノスケール材料の特性評価や分析に不可欠なツールとなっています。FIB処理中にアーチファクトを発生させない超薄膜TEMラメラに対する要求はますます高まっており、最高のイオンおよび電子光学技術が必要とされています。 日立の高性能FIBおよび高分解能SEMシステムNX2000は、独自の試料姿勢制御*とトリプルビーム*技術により、最先端アプリケーションのための高スループットで高品質なTEM試料作製をサポートします。 * ...