Hitachiの3D顕微鏡

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.6, 0.7 nm

FE-SEMは、得られる画像の分解能が高く、またその情報の豊富さや試料の取り扱いが比較的簡便なことから、ナノテクノロジー、半導体・エレクトロニクス、ライフサイエンス、材料などの幅広い分野において、微細構造の観察から計測、分析まで多岐にわたって活用されています。近年のマテリアルズ・インテグレーションをはじめとしたその活用分野・用途の広がりに伴い、大量データの短時間取得やそれに要する負荷の低減が求められています。 こうしたニーズに応え、2021年12月に発売したSU8600/SU8700では日立ハイテクがこれまで培ってきた高分解能FE-SEMとしての性能に加えて、大量データ取得を支援する自動化機能を強化しています。 今後、多くのデータを必要とするデータ駆動型研究開発の進展が予想される中、本製品群により大量データの短時間取得やユーザーの負荷低減を支援します。 電子光学系の自動調整機能を搭載 FE-SEMの観察や分析では対象や目的に応じて観察条件を変更し、その度に電子光学系条件を調整する作業が生じます。調整に要する時間はユーザーの熟練度によって異なり、このことがデータの質やスループットのばらつきを生じさせる一因になっています。SU8600/SU8700には、電子光学系の調整作業を自動化する機能が搭載され、安定した光学条件維持を可能にしています。 ワークフローに応じた自動データ取得レシピ作成支援オプション「EM ...

SEMを初めて使用されるユーザーに対しても「美しい像が得られる体験」、そして一人で習熟・熟達していける「成功体験」、熟達したユーザーにも豊富な機能で提供する新たな「体験」。 EM Wizardはさまざまな“User Experience”を提供し、新たなSEMの楽しさ、面白さを拓きます。 あらゆるユーザーに高分解能・再現性・スループットを提供する、新開発ユーザーインターフェース「EM Wizard」 EMWizadのスタンダードモードでは使用される頻度の高い5つのビーム/検出器条件を用意。 選択画面から条件を選択することで光軸調整などの作業なしにベストな光学条件で画像を取得 サンプルへの制限を極力低減したデザイン 大型試料（～200 ...

倍率 : 600,000, 800,000, 1,000,000 unit
分解能: 0.14, 0.19, 0.2 nm

透過電子顕微鏡（以下、TEM：Transmission electron microscope）は、医学・生物学分野での研究・診断から食品・高分子・化学・ナノ材料の研究・開発まで、幅広い分野で活用されており、微細構造の形態観察に必要不可欠なツールとなっている。今回、様々な分野に対応するため、120 kV透過電子顕微鏡（TEM）HT7800シリーズを開発した。 本シリーズでは、高コントラストを極めたレンズを搭載し、広視野高コントラスト観察を実現するHT7800と、クラス最高レベルの分解能をもつ ...

分解能: 4, 1.6, 2.1 nm

... することで、従来のFIB-SEM装置では避けられなかった断面撮影時のアスペクト変形、断面画像のフォアショート、視野（FOV）のシフトを解消。NX9000の画像は、高精度な3次元構造解析を可能にします。表面プラナーEMイメージングの利点により、光学相関顕微鏡法を容易に適用できます。 カット＆シー Cut&Seeは、低加速電圧で生体組織、半導体、鉄やニッケルなどの磁性材料の高解像度、高コントラストイメージングをサポートします。 ...