Oxford Instruments/オックスフォード・インストゥルメンツの生産システム

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生産システム
生産システム
QbCon®

... バッチ生産から連続生産へのパラダイムチェンジは、使用する生産プロセスや必要な自動化技術に新しいアプローチを必要とします。 FDAを中心とした品質向上への包括的な取り組みは、固形製剤の製造において連続生産に強く焦点を当てています。 PATによって製造工程をより詳細にモニタリングし、高品質な製品を安定的に生産することが、この取り組みの中心的な要素となっています。 ...

生産システム
生産システム

... 有効成分の無菌製造システム(ダブルチャンバーシステム) カスタムシステムプロジェクト すべてのシステムと装置は、使用材料と機能安全性に関して最も厳しい要件を満たしており、将来の用途に合わせて拡張・アップグレードが可能です。高度な自動化コンセプトにより、ユーザーの操作を簡素化し、完全に再現可能な乾燥工程を保証します。当社の専門家は、ISPEやドイツPATグループなど、主要な協会や作業部会で活躍しており、特に製薬・バイオテクノロジー業界に関する厳しい規制要件に精通しています。 私たちはユーザーと ...

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Martin Christ Gefriertrocknungsanlagen
製薬産業用生産システム
製薬産業用生産システム
FlexPro 50

... 革新的で非常にフレキシブルなバイオテクノロジー製品・医薬品用生産システムFlexPro 50は、基本的に3つのコンポーネントで構成されています:Ziel社製のアイソレーターシステム、Groninger社製の精密充填・密封機モジュール、革新的なLyoShuttleローディング・アンローディングシステムを含むMartin ...

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Martin Christ Gefriertrocknungsanlagen
生産システム
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FlexAL

FlexALシステムは、単一のALDシステムにおいて、リモートプラズマ原子層堆積(ALD)プロセスおよび熱ALDを実現し、ナノスケール構造およびデバイスの製造において、新しい柔軟性と性能範囲を提供します。 単一の柔軟なツールにおいて、リモートプラズマと熱ALDを実現 基板の真空中移送に関してクラスター化が可能 カセット交換式の取り扱いにより、スループットが増大し、製造に最適 材料および原料プリカーサーの選択にも、高い柔軟性 プラズマALDにより、低温プロセスが可能 ...

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生産システム
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PlasmaPro 100 Nano CVD

... 真空予備室-迅速なサンプル交換 シャワーヘッドの冷却壁設計による、均一な原料プリカーサー供給 MoS2、MoSe2、そして他のTMDCの成膜に向けた、液体/固体原料供給システムのオプション オックスフォード・インストゥルメンツは、総括的で柔軟、かつ信頼できる、グローバルなお客様サポートをお約束しています。お客様のシステムが稼働している期間、高品質のサービスを提供します。 遠隔診断ソフトウェアにより、迅速で簡便な欠陥診断と問題解決を実現します。 ご予算と状況に合わせた、サポート契約 ...

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磁気生産システム
磁気生産システム
PlasmaPro 100 Polaris

... ウェハーPlasaPro 100 Polarisエッチングシステムは、お客様が競争力を維持するのに必要な、優れたエッチング結果を実現する、スマートなソリューションを提供します。 優れたエッチング速度 低所有コスト 特に、過酷な化学系用途に設計 優れたエッチング均質性 サファイアをクランプすることができる、独自の静電クランプ技術 サファイアまたはシリコン上のGaNの処理が可能 高い排気速度のポンプシステム 他のPlasaProシリーズとクラスター化が可能 ...

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PlasmaPro 800 PECVD

PlasmaPro 800は、プラズマ励起化学気相堆積(PECVD)プロセスの柔軟なソリューションを、大きなウェハーバッチと300mmウェハーにおいて、コンパクトな専有面積かつ大気装入システムで実現します。大きなウェハー定盤により、製造レベルのバッチ処理および300mmウェハーの取り扱いを可能にします。 高性能プロセス 優れた基板温度制御 高精度のプロセス制御 実績のある、300 ...

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PlasmaPro 100 PECVD

... 可能 ハードマスクのデポジションおよび高輝度LED製造のエッチングに適用可能 グローバルな、お客様サポート オックスフォード・インストゥルメンツは、総括的で柔軟、かつ信頼できる、グローバルなお客様サポートをお約束しています。お客様のシステムが稼働している期間、高品質のサービスを提供します。 遠隔診断ソフトウェアにより、迅速で簡便な欠陥診断と問題解決を実現します。 ご予算と状況に合わせた、サポート契約も用意しております。 迅速な対応を実現するため、戦略拠点にグローバル ...

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PlasmaPro 800 RIE

PlasmaPro 800 RIE は、リアクティブイオンエッチング(RIE)プロセスの柔軟なソリューションを、大きなウェハーバッチと300mmウェハーにおいて、コンパクトな専有面積かつ大気装入システムで実現します。大きなウェハー定盤により、製造レベルのバッチ処理および300mmウェハーの取り扱いを可能にします。 高性能プロセス 優れた基板温度制御 高精度のプロセス制御 実績のある、300mm単一ウェハーの故障解析プロセス 高性能プロセス 優れた基板温度制御 ...

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PlasmaPro 100 Estrelas

PlasmaPro 100 Estrelas プラットフォームは、ディープシリコンエッチング(DSiE)用途に対して、全体的な柔軟性を実現するように設計されており、Micro Electro Mechanical Systems(マイクロ電気機械システム、MEMS)、そして先進パッケージとナノ技術市場全般といった、多様な必要プロセス条件に対応できます。PlasmaPro 100 Estrelasは、研究と製造の両分野を念頭に開発されており、究極のプロセス柔軟性を実現しています。 らかな側壁を ...

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PlasmaPro 100 Cobra

... 研究開発に活用できる柔軟性を持つとともに、製造ニーズにも対応できる構造も備えています。 グローバルな、お客様サポート オックスフォード・インストゥルメンツは、総括的で柔軟な信頼できる、グローバルなお客様サポートをお約束しています。お客様のシステムが稼働している期間、高品質のサービスを提供します。 遠隔診断ソフトウェアにより、迅速で簡便な欠陥診断と問題解決を実現します。 ご予算と状況に合わせた、サポート契約も用意しております。 迅速な対応のため、戦略的場所にグローバルに予備品 ...

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PlasmaPro 100 ALE

... 高アスペクト比(HAR)エッチングプロセス ナノスケール層のエッチング除去に理想的 グローバルな、お客様サポート オックスフォード・インストゥルメンツは、総括的で柔軟な信頼できる、グローバルなお客様サポートをお約束しています。お客様のシステムが稼働している期間、高品質のサービスを提供します。 遠隔診断ソフトウェアにより、迅速で簡便な欠陥診断と問題解決を実現します。 ご予算と状況に合わせた、サポート契約も用意しております。 迅速な対応を実現するため、戦略拠点にグローバル ...

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PlasmaPro 80 ICP RIE

The PlasmaPro 80 ICP は、コンパクトな省スペースのシステムであり、多様なICPエッチングを、使い易い大気装入方式で実現します。設置や使用は簡単ですが、プロセスの品質はそのままです。大気装入設計は、迅速なウェハー装入と抽出を可能にし、研究やプロトタイプ、少量生産に理想的です。最適化された電極冷却および優れた基板温度の制御により、高性能プロセスを実現します。 大気装入設計により、迅速なウェハー装入と抽出が可能 優れたエッチング制御および最適エッチング速度が可能 優 ...

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