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NanoAir™ 10 は、ISOクラス１レベルの厳しい基準で管理される清浄区域、特にウエハ搬送モジュール (EFEM) 内やプロセス装置内の常時モニタリングに適した凝縮型気中パーティクルカウンタです。流量2.8 LPMで測定し、粒径10 nmの微粒子を検出します。 NanoAir 10は従来型の扱いやすさを備えた凝縮型パーティクルカウンタです。独自の凝縮制御機構 ...
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... 設計 IsoAir Pro-Plusは Wi-Fi 対応が可能な、軽量・省スペース設計、ポンプ（ブロワ）内蔵の遠隔操作式据置型気中パーティクルカウンターです。筐体は316Lステンレス製で、特殊加工を施した内部サンプル流路は過酸化水素ガス（VHP）に耐性を有します。NFCタグの使用によるプラグアンドプレイが可能です。 設置自由度・経済性 測定ポイントの限られたスペースに収まる小型サイズ オプションのWi-Fi通信機能と電源の選択（100 ...
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... 25.0 µm IsoAir® Pro-E はPoE給電対応、軽量・省スペース設計、ポンプ（ブロワ）内蔵の遠隔操作式据置型気中パーティクルカウンターです。筐体は316Lステンレス製で、特殊加工を施した内部サンプル流路は過酸化水素ガス（VHP）に耐性があります。NFCタグを利用してプラグアンドプレイが可能です。 設置自由度・経済性 測定ポイントの限られたスペースに収まる小型サイズ PoE受電機能の実装により、1本のイーサネットケーブルで通信と受電が可能 ポンプ（ブロワ）内蔵 ...
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... 遠隔操作式据置型気中パーティクルカウンタです。耐薬品性にすぐれたポリカーボネート製の筐体を持つAirnet IIシリーズと、腐食に強い316Lステンレス鋼製の筐体を持つAirnet IIsシリーズとがあります。どちらのシリーズにも、装置内部のサンプル流路をテフロン™コーティングしたモデルがあります。 Airnet II/IIs 2チャンネルは、コンパクトな本体にPoE受電機能を実装しており、導入が容易で、特に設置スペースが限られている場合やモニタリングするポイントが多い場合に適した装置です。 通信障害 ...
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HandiLaz Mini II は、性能と操作性にすぐれた小型の気中パーティクルカウンタです。手のひらに乗る大きさながら、クリーンルームのモニタリング、トラブルシューティングから大気中のPM 2.5やPM 5の測定まで可能な汎用型製品です。 検出可能な粒径は0.2 µmから10 µmまでで、分解能10 nmで任意のサイズを指定できます。測定結果はディスプレイに表示されるとともに、メモリーに保存されます。複雑な操作はなく、使いやすいカラータッチスクリーンに触れるだけです。 ISO ...
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... にかざすだけでカード情報を装置に読み込ませることができ、入力を省略できます。カード1枚に、1件のユーザーまたは1件のレシピが登録可能です。 ISO 14644:2015に準じた清浄度の検証やトレンド分析、トラブルシューティング、あるいは高圧ディフューザ HPD III (オプション)を使用した不活性ガスのモニタリングなど、 Lasair Proはポータブル測定器としても、リモート測定器として使用できる、幅広い用途に対応可能な気中パーティクルカウンタです。
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Airnet® II 4チャンネルは、常時モニタリング用の遠隔操作式据置型気中パーティクルカウンタです。粒径区分は4段階で、測定粒径、流量の異なる5つのモデルがあります。 コンパクトな本体は水平方向にも垂直方向にも取り付けでき、また、環境に応じて電源方式 (標準のPoEまたはオプションのDC) が選べます。導入が容易で、特に設置スペースが限られている場合やモニタリングするポイントが多い場合に適した装置です。 通信障害からサンプリングデータを守るバッファリング機能や、流量の変動率が15％ ...
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Lasair® III 110 は、ISO 14644-1;2015 に準じた清浄度の検証が可能な気中パーティクルカウンタです。流量28.3 LPMで測定し、粒径0.1 μmの微粒子を検出します。 持ち運び可能な本体は、丈夫で耐薬品性の高いステンレス鋼製の筐体で覆われ、保証期間3年の半導体レーザーを搭載しています。タッチスクリーンでメニュー項目をタップることで直感的に操作できます。PCと接続し、WEBブラウザを使ってリモート操作することもできます。 ポータブル用途や据え置き用途、サンプリングチューブ ...
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... インライン・モニタリングに最適化された光学式液中パーティクルカウンタです。 流量75 ml/minで測定し、 20 nmの微粒子を検出します。 Ultra DI 20 Plus は 装置内部で発生する熱を効率よく外部に放出できるため、 恒温槽を必要としません。冷却機構を設けたことで、 安定した精度の高い測定が可能になりました。 機差が小さく、 低粒子濃度の超純水（10個/mL未満）を複数の ...
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Ultra DI® 50は、最先端のエレクトロニクス産業で使用される超純水のインライン・モニタリングに適した高感度の液中パーティクルカウンタです。超純水中の50 nmの微粒子を検出します。偽計数、単位時間あたりに測定可能なサンプル量、計数効率において優れた性能を有しています。
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