Particle Measuring Systemsのプロセス微粒子カウント装置

... スペースが限られるEFEM内やプロセス装置内 、ユーティリティ設備エリアに設置可能 本体に埋め込まれた ISP (等速吸引プローブ) 最大で10 mのサンプリングチューブを使用可能 独自の凝縮制御システム (特許出願中) 凝縮の過程で起きる発塵を防止する構造を持ち、非常に低い偽計数 (補正せずに1.5個/㎥未満)を実現 装置を移動しても凝縮液を安定した状態に維持 凝縮液の補充は、装置を24時間365日フル稼働させても15か月間不要なため、装置の年次校正と同時に実施可能 ...

... 遠隔操作式据置型気中パーティクルカウンタです。耐薬品性にすぐれたポリカーボネート製の筐体を持つAirnet IIシリーズと、腐食に強い316Lステンレス鋼製の筐体を持つAirnet IIsシリーズとがあります。どちらのシリーズにも、装置内部のサンプル流路をテフロン™コーティングしたモデルがあります。 Airnet II/IIs 2チャンネルは、コンパクトな本体にPoE受電機能を実装しており、導入が容易で、特に設置スペースが限られている場合やモニタリングするポイントが多い場合に適した装置です。 通信障害 ...

Lasair® III 110 は、ISO 14644-1;2015 に準じた清浄度の検証が可能な気中パーティクルカウンタです。流量28.3 LPMで測定し、粒径0.1 μmの微粒子を検出します。 持ち運び可能な本体は、丈夫で耐薬品性の高いステンレス鋼製の筐体で覆われ、保証期間3年の半導体レーザーを搭載しています。タッチスクリーンでメニュー項目をタップることで直感的に操作できます。PCと接続し、WEBブラウザを使ってリモート操作することもできます。 ポータブル用途や据え置き用途、サンプリングチューブ ...

... インライン・モニタリングに最適化された光学式液中パーティクルカウンタです。 流量75 ml/minで測定し、 20 nmの微粒子を検出します。 Ultra DI 20 Plus は 装置内部で発生する熱を効率よく外部に放出できるため、 恒温槽を必要としません。冷却機構を設けたことで、 安定した精度の高い測定が可能になりました。 機差が小さく、 低粒子濃度の超純水（10個/mL未満）を複数の ...

Ultra DI® 50は、最先端のエレクトロニクス産業で使用される超純水のインライン・モニタリングに適した高感度の液中パーティクルカウンタです。超純水中の50 nmの微粒子を検出します。偽計数、単位時間あたりに測定可能なサンプル量、計数効率において優れた性能を有しています。

Chem 20™ は、最先端のエレクトロニクス産業で使われる高純度薬液中の不溶性微粒子を常時モニタリングするために開発された、高感度の液中パーティクルカウンタです。超純水用の液中パーティクルカウンタ Ultra DI®シリーズで実績のある光学系構造をさらに進化させることにより、粒径20 mmの微粒子（20nmのPSL粒子、 ...

HSLIS eシリーズは、製造プロセスに使用される純水または薬液のインライン・モニタリング用液中パーティクルカウンタです。複数台を設置する場合や長期の傾向分析を行う場合など、導入コストおよび運用コストが重要視されるモニタリングに適した装置です。 HSLIS-M65eは、純水のモニタリングにも薬液のモニタリングにも使用でき、65 ...

窒素 (N2)、ヘリウム (He)、二酸化炭素 (CO2) といった不活性ガスのみならず、酸素 ( O2)、水素 (H2) などの活性ガスにも対応する気中パーティクルカウンタです。活性ガスもライン圧のままインラインで測定可能です。 ガスの種類に応じて体積流量、粒子径を補正する機能があり、正確な測定結果が得られます。測定結果は専用のデータシステム PDS-E を使用することで、 イーサネットを介して統合モニタリングソフトウェア ...