エリプソメータ

新しい膜厚測定ツールとして開発された"Auto SE"は、プッシュボタン感覚での薄膜サンプルの自動測定を可能としております。サンプル分析は厚い膜でもわずか数秒で実施でき、膜厚・屈折率・表面ラフネス・膜不均質性などを含む分析結果をレポート形式にて提供いたします。 "Auto SE"は、自動XYZステージ・測定箇所の実時間画像・マイクロスポットが標準搭載されております。 加えて、トラブルシューティングとして、包括的な操作指示によって、問題の検出が可能な診断指標を内蔵しております。 簡易操作ができ、多くの自動化機能を有する"Auto ...

波長450nm-1000nmをカバーしたデータ採取により、薄膜の膜厚、光学定数（屈折率、消衰係数）などの物質特性を精度良く測定します。 誘電体や有機薄膜など様々な材料の測定が可能です。 イメージングシステム“MyAutoViewTM”を搭載し、サンプル表面状態や測定スポットの厳密な位置確認が可能です。

... オングストロームアドバンス社は、エリプソメトリーの標準を設定し、最も手頃な価格で最高のエリプソメトリー技術を提供します。オングストロームアドバンス社は、薄膜の厚さ測定、屈折率や消衰係数分析（nとk）の光学特性評価用のエリプソメトリーのフルレンジを提供します。オングストロームアドバンス社のエリプソメーターは、様々な用途に使用することができ、MIT、NASA、カリフォルニア大学バークレー校、イェール大学、デューク大学、NISTなどの一流の研究所で使用されています。 PHE101エリプソメータは、材料ライブラリ、広可変角度、アライメント用セカンドレーザー、強力なソフトウェアなど、多くの新機能を備えた最新の離散波長エリプソメータです。 優れた精度と繰り返し精度 高速回転アナライザー操作 材料ライブラリを備えた強力なソフトウェア 最も広い可変角度10-90 オートフォーカスがサンプルのトポグラフィーとウェハーの「弓形」ミスアライメントを補正 測定角度は0.01°以下の高い安定性と再現性 測定スピードは1秒以下 PHE101エリプソメーターは、単層および多層膜の屈折率、消衰係数（n ...

... オングストロームアドバンス社は、エリプソメトリーの標準を設定し、最高のエリプソメトリー技術を最も手頃な価格で提供します。オングストロームアドバンス社は、薄膜厚さ測定、屈折率や消衰係数分析（nとk）の光学特性評価用のエリプソメーターをフルレンジで提供しています。当社のエリプソメーターは様々な用途に使用でき、MIT、NASA、カリフォルニア大学バークレー校、イェール大学、デューク大学、NISTなどの一流研究所で使用されています。 ダイオードアレイ検出器またはモーター分光器（モノクロメーター）により、UV/VIS/NIRの250～1100nmの範囲で迅速な測定が可能。 NIR ...