STEM顕微鏡

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走査電子顕微鏡
走査電子顕微鏡
SU8600

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.6, 0.7 nm

FE-SEMは、得られる画像の分解能が高く、またその情報の豊富さや試料の取り扱いが比較的簡便なことから、ナノテクノロジー、半導体・エレクトロニクス、ライフサイエンス、材料などの幅広い分野において、微細構造の観察から計測、分析まで多岐にわたって活用されています。近年のマテリアルズ・インテグレーションをはじめとしたその活用分野・用途の広がりに伴い、大量データの短時間取得やそれに要する負荷の低減が求められています。 こうしたニーズに応え、2021年12月に発売したSU8600/SU8700では日立ハイテクがこれまで培ってきた高分解能FE-SEMとしての性能に加えて、大量データ取得を支援する自動化機能を強化しています。 今後、多くのデータを必要とするデータ駆動型研究開発の進展が予想される中、本製品群により大量データの短時間取得やユーザーの負荷低減を支援します。 電子光学系の自動調整機能を搭載 FE-SEMの観察や分析では対象や目的に応じて観察条件を変更し、その度に電子光学系条件を調整する作業が生じます。調整に要する時間はユーザーの熟練度によって異なり、このことがデータの質やスループットのばらつきを生じさせる一因になっています。SU8600/SU8700には、電子光学系の調整作業を自動化する機能が搭載され、安定した光学条件維持を可能にしています。 ワークフローに応じた自動データ取得レシピ作成支援オプション「EM ...

STEM顕微鏡
STEM顕微鏡
HF5000

倍率 : 20 unit - 8,000,000 unit
分解能: 0.1, 0.08 nm

0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。 走査透過電子顕微鏡「HD-2700」搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。 ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。 0.078 ...

透過型電子顕微鏡顕微鏡
透過型電子顕微鏡顕微鏡
HT7800 series

倍率 : 600,000, 800,000, 1,000,000 unit
分解能: 0.14, 0.19, 0.2 nm

透過電子顕微鏡(以下、TEM:Transmission electron microscope)は、医学・生物学分野での研究・診断から食品・高分子・化学・ナノ材料の研究・開発まで、幅広い分野で活用されており、微細構造の形態観察に必要不可欠なツールとなっている。今回、様々な分野に対応するため、120 kV透過電子顕微鏡(TEM)HT7800シリーズを開発した。 本シリーズでは、高コントラストを極めたレンズを搭載し、広視野高コントラスト観察を実現するHT7800と、クラス最高レベルの分解能をもつ高分解能レンズを備えたHT7830を揃えた。 本稿では、開発したHT7800シリーズの特長とその応用例を紹介する。 HT7800の概要と特長 HT7800の外観写真を図1に示す。従来機種HT7700を継承し、蛍光板観察用スクリーンカメラによる明るい部屋でのTEM操作を実現している。HT7800シリーズは、加速電圧を20 ...

走査電子顕微鏡
走査電子顕微鏡
LVEM5

... 世界最小のTEM... LVEM5は、高分解能イメージングと光学顕微鏡の小さなフットプリントを組み合わせたコンパクトなベンチトップ装置です。顕微鏡、電子ユニット、真空システム、PCの4つのパーツから構成されています。小さな設置面積、暗室不要、冷却水不要、簡単なメンテナンス...これらにより、この装置は個人またはグループ内で多目的に使用できる電子顕微鏡となっています。 高コントラスト LVEM5は、重金属染色やシャドーイングを使用することなく、軽元素で構成された物体を高コントラストで観察できるユニークな調査ツールです。 豊富なイメージングモード LVEM5は世界最小の透過型電子顕微鏡で、従来のTEMに搭載されている標準的なイメージングモードをすべて備えています。LVEM5は、ナノメートルの空間分解能で、透過モード(TEM ...

X線顕微鏡
X線顕微鏡
GRAND ARM™2

分解能: 0.05 nm - 0.17 nm

原子分解能電子顕微鏡JEM-ARM300F "GRAND ARM™" を さらに進化させ、低加速から高加速までさまざまな加速電圧にて、超高空間分解能観察と高感度分析を両立させました。 新開発対物レンズFHP2 加速電圧300 kV対応の超高空間分解能観察用対物レンズポールピースFHPの性能はそのまま維持しつつ、大面積(158 mm2)SDDのX線取り出し角、検出立体角が向上するようにポールピースの形状を最適化しました。 その結果、超高空間分解能の性能を持ちながら、FHPの2倍以上の実効X線検出感度が実現しました。 エンクロージャーカバー GARM ...

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Jeol
透過型電子顕微鏡顕微鏡
透過型電子顕微鏡顕微鏡
JEM-ARM200F NEOARM

分解能: 0.1, 0.07, 0.16, 0.11, 0.25 nm

"NEOARM"は、当社独自の技術で開発された冷陰極電界放出形電子銃(Cold-FEG)と高次の収差まで補正可能な新型球面収差補正装置(ASCOR)を標準搭載し、200 kVの高加速電圧だけでなく30 kVの低加速電圧においても原子分解能での観察を実現しました。 また、当社独自の収差補正アルゴリズムを開発し高速かつ正確な収差補正を自動的に行うシステムを搭載しました。これにより、ハイスループットな原子分解能観察を提供します。 さらに、加速電圧によらず高い軽元素のコントラストが得られる新型STEM検出器を搭載しました。これにより軽元素のコントラストを向上させゆく新たなSTEMイメージング手法(e-ABF法)が可能となり、軽元素を含む材料の明瞭なコントラスト観察が容易になります。 昨今、主流となっておりますリモート操作のご要求に応えるため、本体と操作卓を分離し当社の新しいコンセプトカラーであるピュアホワイトとJEOLシルバーを採用し、より洗練されたフォルムデザインに仕上がりました。 "NEOARM"に搭載されたASCORは、従来の補正装置において分解能を制限する主要因であった高次収差 ...

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Jeol
光学顕微鏡
光学顕微鏡
JEM-F200

分解能: 0.23, 0.19, 0.16, 0.14 nm

JEM-F200は、空間分解能と分析性能を向上させるとともに、多目的な使い方における操作性を考慮した新しい操作システムを搭載し、電子顕微鏡の初心者から熟練者まで思わず使いたくなるようなスマートな外観を備え、省エネルギー化とCO2削減をコンセプトとして開発された電界放出形透過電子顕微鏡です。 JEM-F200 は『スマートさ』を追求した新たな装いになっています。 特に分析電子顕微鏡操作について、直感性を重視したユーザーインターフェースを新たに開発しました。 また、JEOL ...

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走査電子顕微鏡
走査電子顕微鏡
MAGNA

... サブナノメートルスケールのナノ材料特性評価用UHR SEM 次世代材料(触媒構造、ナノチューブ、ナノ粒子、その他のナノスケール構造など)の高分解能・高コントラスト画像化 サブナノメートルスケールのSEM/STEM計測に適した優れたプラットフォーム 電子ビームの高速セットアップ - In-Flight Beam Tracing™により最適なイメージング条件を保証 マルチ検出器システム TriBE™ および TriSE™ による試料のナノキャラクタリゼーション 直感的に操作できるソフトウェアモジュラープラットフォームにより、ユーザーのスキルレベルに関係なく簡単に操作できるように設計されています。 ...

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TESCAN GmbH
STEM顕微鏡
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... 機能性材料、薄膜、合成粒子などのナノスケールの形態、化学的、構造的特性をマルチモーダルな方法で評価するために、卓越した4D-STEM性能とこれまでにない使い勝手の良さを備えています。 回折イメージング、EDS取得、ビームブランキングとスキャニングの同期化。 統合された、ほぼリアルタイムの4D-STEMデータ解析と処理 電子ビームプリセッションとニアUHVによるパフォーマンス上の利点 STEMユーザーエクスペリエンスへの新しいアプローチ 分析用4D-STEM 電子ビームと試料の相互作用の全体像 4D-STEMは、形態、化学、構造などの材料特性の真のナノスケール、マルチモーダルな特性評価に最適な顕微鏡法です。TESCAN ...

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正立型顕微鏡
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LMC series

... 大学やSTEM市場向けに金属フレームを使用した堅牢なデザイン。実験室の識別用に8色から選べるデュアルキャリングハンドルを装備。 ...

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