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高解像度電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)のイメージングと解析性能を、次世代集束イオンビーム(FIB)の処理能力と組み合わせたもZEISS Crossbeam。学術機関や産業研究所といった、複数のユーザーが利用するような機関で働く方々にもお役に立ちます。Crossbeamのモジュラープラットフォームコンセプトを利用して、既存のシステムを必要に応じてアップグレードできます。ミリング、イメージング、あるいは3D分析を実施する上で、CrossbeamによってFIBを利用する際の処理が迅速になります。 Gemini電子工学を利用した高解像度SEM画像から、正しい試料情報を取得します。 イオンスカルプタFIBカラムに ...
... TESCAN AMBER Xは、超大容量分析およびハイスループットのクライオアプリケーションに対応した高性能集束プラズマイオンビーム走査電子顕微鏡（FIB-SEM）です。iFIB+カラムを搭載したTESCAN AMBER Xは、Ga FIBシステムで行っていたクライオFIBアプリケーションを、プラズマFIB特有の超高速材料除去速度でわずかな時間でサポートします。従来のGa FIBミリングでは数時間かかっていた、サンプルの奥深くに隠された特徴を数分で露出させることができます。 AMBER ...
分解能: 4, 60, 0.7, 50, 1.5 nm
「Ethos」は、日立ハイテクのコア技術である高輝度冷陰極電界放出型電子銃と新開発の電磁界重畳型レンズにより、低加速電圧での高分解能観察を可能とし、リアルタイムFIB加工観察と両立しました。 さらに、SEMカラム内に3つの検出器を搭載することで、二次電子による形状コントラストや反射電子による組成コントラストを同時観察でき、ナノメータースケールの構造物を見逃すことなく観察・解析し、特定箇所を正確に捉えたFIB加工を可能としています。 また新設計の大容量試料室には、EDS*1やEBSD*2などの各分析装置に対応する多数のアクセサリーポートを設置するとともに、直径150 ...
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