FE-SEM顕微鏡

倍率 : 3,000,000 unit
分解能: 0.7, 0.4, 1.2, 0.8 nm

コールドFE電子源は、他の電子源と比べて光源径やエネルギー幅が小さいので、高分解能観察に適しています。さらに高輝度かつ安定性な新型コールドFE電子銃を搭載したSU9000IIは高分解能観察のみならず、高品質な元素分析が可能です。それらの性能を発揮したデータを安定して取得できるよう、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 また、インレンズ形対物レンズを備えたSU9000IIは、EELSの測定が可能です。 SU9000IIは日立FE-SEMの最上位機種です。 低収差レンズの最高峰であるインレンズ型対物レンズを搭載したSU9000IIは、世界最高分解能 ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.6, 0.9, 0.8 nm

FE-SEMの観察や分析では対象や目的に応じて観察条件を変更し、その度に電子光学系条件を調整する作業が生じます。調整に要する時間はユーザーの熟練度によって異なり、このことがデータの質やスループットのばらつきを生じさせる一因になっています。SU8600/SU8700には、電子光学系の調整作業を自動化する機能が搭載され、安定した光学条件維持を可能にしています。 ワークフローに応じた自動データ取得レシピ作成支援オプション「EM Flow Creator」を搭載 装置の性能向上に伴い求められるデータの種類や量も増大している中、多種多量のデータを手動で取得することもユーザーの負担を増大させています。SU8600/SU8700にはレシピ作成を可能にするオプション「EM ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.9, 0.8 nm

低加速電圧での高い像質、複数信号同時取得などに加え、広域視野観察、In-Situ観察など現在のFE-SEMでは高い能力と多くの機能が要求されています。 SU7000は多様化するニーズにおいて情報最大化を目ざして創られた、「新しいSEM」です。 SU7000がもたらす世界を体感してください。 * 装置写真はオプション付属の状態です 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。 キーコンセプト 1.多彩なイメージング能力 広視野全体像から表面微細構造まで、SU7000は多様な信号の迅速取得を目ざして設計されました。 複数の二次電子信号・反射電子信号が同時に取得できるようにデザインされた電子光学系/検出系はより短い時間で多くの情報をユーザーにもたらします。 2.マルチチャンネルイメージング イメージングニーズの増加に伴い、装着される検出器の数も増加していますが、表示もそれに見合う機能が必要です。 SU7000では最多6チャンネルでの信号同時表示/保存が可能です。 取得情報の最大化を強力にアシストします。 3.多様な試料形状・観察手法に対応 大型試料観察 低真空観察 クライオ観察 その場観察 などに対応するための試料室や真空系を備え、多様な観察手法に応えます。 4.マイクロアナリシス ショットキーエミッター搭載の電子銃による最大200nAの照射電流は余裕を持って各種マイクロアナリシスに対応します。 EDXをはじめとしたX

SEMを初めて使用されるユーザーに対しても「美しい像が得られる体験」、そして一人で習熟・熟達していける「成功体験」、熟達したユーザーにも豊富な機能で提供する新たな「体験」。 EM Wizardはさまざまな“User Experience”を提供し、新たなSEMの楽しさ、面白さを拓きます。 あらゆるユーザーに高分解能・再現性・スループットを提供する、新開発ユーザーインターフェース「EM Wizard」 EMWizadのスタンダードモードでは使用される頻度の高い5つのビーム/検出器条件を用意。 選択画面から条件を選択することで光軸調整などの作業なしにベストな光学条件で画像を取得 サンプルへの制限を極力低減したデザイン 大型試料（～200 ...

倍率 : 5 unit - 600,000 unit
分解能: 0.9, 2.5, 1.6 nm

... SU3900SE/SU3800SEシリーズは、高分解能観察が可能なFE-SEMです。従来のFE-SEMよりもはるかに大きく重い試料を、簡単な操作で容易にデータ収集することができます。鉄鋼などの工業材料、自動車部品、航空宇宙関連部品などの大型・重量試料の観察が可能です。 さらに、SEシリーズでは4機種（2タイプ2グレード）をラインアップし、幅広い分野の測定ニーズに対応する。 例えば、ラージチャンバーモデルは異物や欠陥分析に最適な結果を提供し、品質と歩留まりの向上に貢献します。一方、Plusモデルは微細な表面構造の観察に最適で、電子部品や半導体製造の改善機会を創出する。 特徴 アプリケーションの幅を広げる大型試料室搭載のショットキーSEM 電子顕微鏡による形状評価は、あらゆる材料評価・解析の基本です。試料をそのままの形状でマウントして観察したいという要求は常に存在します。 SU3900SE/SU3800SEシリーズは、高剛性の多目的試料室を搭載し、試料をそのまま搭載することが可能です。 これにより、非導電性試料の金属コーティングや、大きく重い試料の破壊・切断などの作業が不要となり、様々な角度からの観察が可能となりました。 高分解能による表面イメージングの向上 新開発のショットキー電子銃の採用により、加速電圧の高低にかかわらず分解能を向上。 ...

倍率 : 5 unit - 600,000 unit
分解能: 0.9, 2.5 nm

... 日立のSU3800SEおよびSU3900SE SEMは、さまざまなアプリケーションに対応する汎用性の高いイメージングおよび分析ソリューションを提供します。これらの装置は、高解像度イメージング、直感的なナビゲーション、高度な自動化を提供し、研究および産業環境において信頼性の高い一貫した結果をもたらします。その柔軟性は、標準的な試料から大規模な工業用試料まで、効率的なワークフローをサポートし、生産性と再現性を高めます。 主な特長 柔軟なサンプルハンドリング SU3900SE：直径300mm、高さ130mm、5kgまでの大型試料に対応。頑丈なユーセントリック5軸ステージにより、自動車部品のような工業用材料のイメージングをリサイズなしで行うことができ、時間と労力を節約。自動検査用に複数のサンプルに対応。 SU3800SE：直径200mm、高さ80mm、重量2kgまでの小型試料に対応。 容易なナビゲーションと精密制御 モーター駆動の5軸ステージ（X、Y、Z、チルト、回転）にはオートコリジョンモデルを採用し、安全で正確なナビゲーションを実現。高度な光学カメラシステムにより、大きなサンプルでも正確な位置決めが可能。 高解像度、自動位置合わせイメージング ショットキー電界放出光学系は、磁気や電気的干渉のない高いイメージング性能を提供します。可変圧力モードにより、余分な準備なしで非導電性サンプルの観察が可能。オートアライメントによりセットアップが迅速になり、あらゆるレベルのオペレーターが高品質の結果を得ることができます。 効率的な自動ワークフロー EM ...

分解能: 0.7, 1.5, 4, 50, 60 nm

... 日立Ethos FIB-SEMは、優れたビーム輝度と安定性を備えた最新世代のFE-SEMです。Ethosは、ナノスケールの精密加工のためのイオン光学系と組み合わせた低電圧での高解像度イメージングを提供します。 主な特長 1.デュアルレンズモード付き高性能FE-SEMカラム 超高分解能観察（HRモード：セミインレンズ） リアルタイム高精度端点検出（FFモード：フィールドフリー（時間共有モード） 2.ハイスループット材料処理 高イオン電流密度による超高速加工（最大ビーム電流：100 ...