FE-SEM顕微鏡

倍率 : 3,000,000 unit
分解能: 0.8, 1.2, 0.4 nm

コールドFE電子源は、他の電子源と比べて光源径やエネルギー幅が小さいので、高分解能観察に適しています。さらに高輝度かつ安定性な新型コールドFE電子銃を搭載したSU9000IIは高分解能観察のみならず、高品質な元素分析が可能です。それらの性能を発揮したデータを安定して取得できるよう、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 また、インレンズ形対物レンズを備えたSU9000IIは、EELSの測定が可能です。 SU9000IIは日立FE-SEMの最上位機種です。 低収差レンズの最高峰であるインレンズ型対物レンズを搭載したSU9000IIは、世界最高分解能 ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.9, 0.6 nm

FE-SEMの観察や分析では対象や目的に応じて観察条件を変更し、その度に電子光学系条件を調整する作業が生じます。調整に要する時間はユーザーの熟練度によって異なり、このことがデータの質やスループットのばらつきを生じさせる一因になっています。SU8600/SU8700には、電子光学系の調整作業を自動化する機能が搭載され、安定した光学条件維持を可能にしています。 ワークフローに応じた自動データ取得レシピ作成支援オプション「EM Flow Creator」を搭載 装置の性能向上に伴い求められるデータの種類や量も増大している中、多種多量のデータを手動で取得することもユーザーの負担を増大させています。SU8600/SU8700にはレシピ作成を可能にするオプション「EM ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.8, 0.9 nm

低加速電圧での高い像質、複数信号同時取得などに加え、広域視野観察、In-Situ観察など現在のFE-SEMでは高い能力と多くの機能が要求されています。 SU7000は多様化するニーズにおいて情報最大化を目ざして創られた、「新しいSEM」です。 SU7000がもたらす世界を体感してください。 * 装置写真はオプション付属の状態です 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。 キーコンセプト 1.多彩なイメージング能力 広視野全体像から表面微細構造まで、SU7000は多様な信号の迅速取得を目ざして設計されました。 複数の二次電子信号・反射電子信号が同時に取得できるようにデザインされた電子光学系/検出系はより短い時間で多くの情報をユーザーにもたらします。 2.マルチチャンネルイメージング イメージングニーズの増加に伴い、装着される検出器の数も増加していますが、表示もそれに見合う機能が必要です。 SU7000では最多6チャンネルでの信号同時表示/保存が可能です。 取得情報の最大化を強力にアシストします。 3.多様な試料形状・観察手法に対応 大型試料観察 低真空観察 クライオ観察 その場観察 などに対応するための試料室や真空系を備え、多様な観察手法に応えます。 4.マイクロアナリシス ショットキーエミッター搭載の電子銃による最大200nAの照射電流は余裕を持って各種マイクロアナリシスに対応します。 EDXをはじめとしたX

倍率 : 5 unit - 600,000 unit
分解能: 0.9, 2.5 nm

... 日立のSU3800SEおよびSU3900SE SEMは、さまざまなアプリケーションに対応する汎用性の高いイメージングおよび分析ソリューションを提供します。これらの装置は、高解像度イメージング、直感的なナビゲーション、高度な自動化を提供し、研究および産業環境において信頼性の高い一貫した結果をもたらします。その柔軟性は、標準的な試料から大規模な工業用試料まで、効率的なワークフローをサポートし、生産性と再現性を高めます。 主な特長 柔軟なサンプルハンドリング - SU3900SE：直径300mm、高さ130mm、重量5kgまでの大型試料に対応。頑丈なユーセントリック5軸ステージにより、自動車部品のような工業用素材をリサイズすることなくイメージングでき、時間と労力を節約。自動検査用に複数のサンプルに対応。 - ...

倍率 : 0 unit
分解能: 4, 60 nm

... NX5000 "ETHOS "FIB-SEMプラットフォームは、収差補正TEM/STEM用の超微細TEMラメラの自動作製、連続サンプル切片の高分解能マルチシグナルSEM検査、およびファブリケーション・アプリケーションの分野における高度な位置精度のアプリケーションを対象としています。 製品の特徴 - 高分解能FE-SEM、コールドまたはショットキー電界エミッタ、デュアル静電・磁気対物レンズ：高分解能イメージング用磁場浸漬モード、FIB同時操作用磁場なしモード - ...