透過型電子顕微鏡顕微鏡

倍率 : 3,000,000 unit
分解能: 0.8, 1.2, 0.4 nm

コールドFE電子源は、他の電子源と比べて光源径やエネルギー幅が小さいので、高分解能観察に適しています。さらに高輝度かつ安定性な新型コールドFE電子銃を搭載したSU9000IIは高分解能観察のみならず、高品質な元素分析が可能です。それらの性能を発揮したデータを安定して取得できるよう、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 また、インレンズ形対物レンズを備えたSU9000IIは、EELSの測定が可能です。 SU9000IIは日立FE-SEMの最上位機種です。 低収差レンズの最高峰であるインレンズ型対物レンズを搭載したSU9000IIは、世界最高分解能 ...

倍率 : 20 unit - 8,000,000 unit
分解能: 0.08, 0.1 nm

0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。 走査透過電子顕微鏡｢HD-2700｣搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。 ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。 0.078 ...

倍率 : 1,000,000, 800,000, 600,000 unit
分解能: 0.19, 0.14, 0.2 nm

透過電子顕微鏡（以下、TEM：Transmission electron microscope）は、医学・生物学分野での研究・診断から食品・高分子・化学・ナノ材料の研究・開発まで、幅広い分野で活用されており、微細構造の形態観察に必要不可欠なツールとなっている。今回、様々な分野に対応するため、120 kV透過電子顕微鏡（TEM）HT7800シリーズを開発した。 本シリーズでは、高コントラストを極めたレンズを搭載し、広視野高コントラスト観察を実現するHT7800と、クラス最高レベルの分解能をもつ高分解能レンズを備えたHT7830を揃えた。 本稿では、開発したHT7800シリーズの特長とその応用例を紹介する。 HT7800の概要と特長 HT7800の外観写真を図1に示す。従来機種HT7700を継承し、蛍光板観察用スクリーンカメラによる明るい部屋でのTEM操作を実現している。HT7800シリーズは、加速電圧を20 ...