自動顕微鏡

比類のない広視野 左右2つのカメラポートが視野数26.5mmの広視野に対応しており、一度により多くのサンプルを取得できます。1フレームあたりの視野が広く、一度により多くのデータを含んだ画像が取得でき、さらに少ない枚数で貼り合わせイメージングができるため、ワークフローを効率化します。 新しいマルチイマージョン対物レンズが、深部観察と操作性における対物レンズの新たなスタンダードを確立 当社の新しいマルチイマージョン対物レンズ（LUPLAPO25XS）に、画期的な新しいイマージョン技術を導入。高いNAと長い作動距離により、サンプルをより深くまで観察でき、これまでは困難であった構造の観察が可能です。 卓越した対物レンズの性能 当社のX ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.9, 0.6 nm

FE-SEMの観察や分析では対象や目的に応じて観察条件を変更し、その度に電子光学系条件を調整する作業が生じます。調整に要する時間はユーザーの熟練度によって異なり、このことがデータの質やスループットのばらつきを生じさせる一因になっています。SU8600/SU8700には、電子光学系の調整作業を自動化する機能が搭載され、安定した光学条件維持を可能にしています。 ワークフローに応じた自動データ取得レシピ作成支援オプション「EM Flow Creator」を搭載 装置の性能向上に伴い求められるデータの種類や量も増大している中、多種多量のデータを手動で取得することもユーザーの負担を増大させています。SU8600/SU8700にはレシピ作成を可能にするオプション「EM ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.7, 0.6 nm

FE-SEMは、得られる画像の分解能が高く、またその情報の豊富さや試料の取り扱いが比較的簡便なことから、ナノテクノロジー、半導体・エレクトロニクス、ライフサイエンス、材料などの幅広い分野において、微細構造の観察から計測、分析まで多岐にわたって活用されています。近年のマテリアルズ・インテグレーションをはじめとしたその活用分野・用途の広がりに伴い、大量データの短時間取得やそれに要する負荷の低減が求められています。 こうしたニーズに応え、2021年12月に発売したSU8600/SU8700では日立ハイテクがこれまで培ってきた高分解能FE-SEMとしての性能に加えて、大量データ取得を支援する自動化機能を強化しています。 今後、多くのデータを必要とするデータ駆動型研究開発の進展が予想される中、本製品群により大量データの短時間取得やユーザーの負荷低減を支援します。 電子光学系の自動調整機能を搭載 FE-SEMの観察や分析では対象や目的に応じて観察条件を変更し、その度に電子光学系条件を調整する作業が生じます。調整に要する時間はユーザーの熟練度によって異なり、このことがデータの質やスループットのばらつきを生じさせる一因になっています。SU8600/SU8700には、電子光学系の調整作業を自動化する機能が搭載され、安定した光学条件維持を可能にしています。 ワークフローに応じた自動データ取得レシピ作成支援オプション「EM ...

倍率 : 5 unit - 800,000 unit
分解能: 15, 4, 3 nm

日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800/SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。 多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です ①大型試料に対応 ■大型/重量試料対応ステージ リスクを低減する試料交換シーケンス スループットを向上する試料交換室 自由度を高める、ステージ移動制限解除機能* ステージ移動の安全性を高める、チャンバスコープ* ■可動範囲を全域サポート、大型試料の全域観察を実現したSEM ...

倍率 : 6, 8,000,000 unit
分解能: 15, 4 nm

「先進のSEMをよりコンパクトに」 わずか45 cm幅のコンパクト設計ながら、4.0 nmの像分解能を実現。 新開発のユーザーインターフェース、電子光学系が高性能をさらに身近にします。 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。 特長 FlexSEM 1000 IIは、新設計の電子光学系と高感度検出器により、加速電圧20 kVで像分解能 4.0 nmを実現しています。新開発のユーザーインターフェースは、明るさやフォーカスの自動調整機能の高速化により、短時間で多彩な観察を可能にします。また、電子顕微鏡の欠点であった視野探しの困難さを容易にする新ナビゲーション機能「SEM ...

倍率 : 10 unit - 250,000 unit
長さ: 617 mm

もっと、高画質に、もっと使いやすく、見やすくをコンセプトに開発したTM4000シリーズはさらに機能を拡張したTM4000Ⅱシリーズを発売。 新たな観察・分析アプリケーションをご提供します。 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。 Camera Navi*を使えば、こんなに簡単 カメラナビ画像で迷わず視野探し、MAP機能で観察をサポート 基本操作はこんなに簡単・スピーディ 画像観察までわずか3分。 目的のデータを素早く取得し、レポート作成が可能。 Report ...

倍率 : 20 unit - 8,000,000 unit
分解能: 0.08, 0.1 nm

0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。 走査透過電子顕微鏡｢HD-2700｣搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。 ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。 0.078 ...

倍率 : 1,000,000, 800,000, 600,000 unit
分解能: 0.19, 0.14, 0.2 nm

透過電子顕微鏡（以下、TEM：Transmission electron microscope）は、医学・生物学分野での研究・診断から食品・高分子・化学・ナノ材料の研究・開発まで、幅広い分野で活用されており、微細構造の形態観察に必要不可欠なツールとなっている。今回、様々な分野に対応するため、120 kV透過電子顕微鏡（TEM）HT7800シリーズを開発した。 本シリーズでは、高コントラストを極めたレンズを搭載し、広視野高コントラスト観察を実現するHT7800と、クラス最高レベルの分解能をもつ高分解能レンズを備えたHT7830を揃えた。 本稿では、開発したHT7800シリーズの特長とその応用例を紹介する。 HT7800の概要と特長 HT7800の外観写真を図1に示す。従来機種HT7700を継承し、蛍光板観察用スクリーンカメラによる明るい部屋でのTEM操作を実現している。HT7800シリーズは、加速電圧を20 ...