Espectrômetro infravermelho IconIR300™

AFMpara inspeçãopara nanotecnologia

Acrescenta 300 mm de acesso à amostra para I&D de semicondutores, análise de falhas e identificação de nanocontaminantes O sistema nanoIR de grandes amostras Dimension IconIR300™ proporciona uma caraterização em nanoescala de alta velocidade e elevada precisão para aplicações de semicondutores, apresentando capacidades inigualáveis, tamanho de amostra e flexibilidade de tipo de material. Através da sua combinação de espetroscopia de IV fototérmica patenteada e capacidades de mapeamento de propriedades AFM em nanoescala, o IconIR300 permite a inspeção automatizada de bolachas e a identificação de defeitos na mais vasta gama de amostras de bolachas e de fotomáscaras. O sistema alarga significativamente a aplicação da tecnologia AFM-IR a segmentos da indústria de semicondutores fora do alcance das técnicas tradicionais. Construído com base na inovadora arquitetura de grandes amostras do sistema Dimension IconIR, o IconIR300 proporciona microscopia correlativa e imagiologia química, bem como uma resolução e sensibilidade melhoradas. Integrado no manuseamento automatizado de bolachas e no software avançado de recolha/análise de dados, o sistema permite uma maior poupança de tempo e de custos e uma maior eficiência de produção. Pastilha inteira caraterização de propriedades químicas e materiais em nanoescala Combina espetroscopia IR e mapeamento de propriedades AFM para medições altamente precisas e não destrutivas de wafers de 200 mm e 300 mm. Sem ambiguidade identificação inequívoca de nano-contaminantes orgânicos/inorgânicos Melhora a qualidade das bolachas semicondutoras e das fotomáscaras com dados AFM-IR fototérmicos que se correlacionam diretamente com as bibliotecas FTIR. Automatizado medições baseadas em receitas Fornece acesso fácil a dados abrangentes e suporte para ficheiros KLARF. Apenas o sistema Dimension IconIR300 fornece: