Os sistemas de inspecção de bolachas semicondutoras, que não podem tolerar nem mesmo uma contaminação ou defeito muito pequeno, também têm várias medidas para os sistemas ópticos.
Uma vez que o nosso Motor Linear conseguiu lançar luz apenas em locais específicos, e a estrutura do obturador para filtro de abertura para evitar a luz ambiente, os nossos Motores Lineares são aplicados a esta aplicação.
Uma vez que o nosso Motor Linear com desenho compacto permite a instalação de múltiplos eixos num espaço reduzido, foi possível concentrar-se em tamanhos e figuras em grande variedade. E também, porque o movimento de alta velocidade por condução directa é possível, é adequado para linhas de fabrico de semicondutores que requerem um elevado rendimento.
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