O sistema de plasma Yocto III é usado principalmente nas seguintes aplicações: ativação, limpeza
Equipamento básico
Fornecimento de voltagem: 230 V
Fornecimento de gás
Gás de processo via filtro
Fluxo via válvula (não ajustável)
Ventilação via filtro
Câmaras de vácuo
Vidro borosilicato (UHP) redondo com tampa (aprox. ∅ 50 mm, L 150 mm)
Eléctrodos
Um par de eléctrodos fora da câmara de vácuo
Controles
Gerador para geração de plasma
Interruptor de 2 estágios
Botão Iniciar
Interruptor de alimentação
Geradores
Frequências: 100 kHz: potência 0 - 30 W
Bomba de vácuo
Instalado na caixa
Sem óleo
Capacidade: 0,75 m3/h
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