Os sistemas de plasma do Pico podem ser combinados em diferentes variantes de uma forma modular. Abaixo, por favor, encontrar uma visão geral das opções mais comuns utilizando os sistemas de plasma do Pico. Os sistemas de plasma do Pico são utilizados principalmente nos seguintes sectores:
Analítica (SEM, TEM)
Arqueologia
Automotivo
Departamentos de investigação e desenvolvimento
Tecnologia de semicondutores
Produção de pequenos lotes
Tecnologia de Plásticos
Engenharia médica
Tecnologia de micro-sistemas
Tecnologia de sensores
Esterilização
Tecnologia têxtil
Equipamento básico
Os tamanhos das casas variam em função dos componentes/opções
Volume da câmara: dependendo da versão, 4 a 15 litros
Fornecimento de voltagem: 230 V para unidade de mesa, 400 V / 3 fases para unidade autónoma
Fornecimento de gás
Válvulas de agulha
Controlador de fluxo de massa (MFCs)
Câmaras de vácuo
Redondo em aço inoxidável com tampa (aprox. ∅ 150 mm, L 320 mm ou L 600 mm)
Porta de aço inoxidável rectangular, articulada (aprox. L 160 mm x A 160 mm x P 325 mm ou 600 mm)
Porta rectangular de alumínio, articulada (aprox. ∅ 160 mm x 160 mm, L 325 mm ou L 600 mm)
Vidro de quartzo (UHP) redondo com tampa ou porta articulada (aprox. ∅ 130 mm, L 300 mm ou L 600 mm)
Vidro borosilicato (UHP) redondo com tampa ou com porta articulada (aprox. ∅ 130 mm, L 300 mm ou L 600 mm)
Carga
Porta produtos (opcionalmente, refrigerado a água), barcos de vidro de quartzo, tambor rotativo de pó, tambor rotativo de produtos a granel, painel de alumínio, aço inoxidável, vidro borossilicatado, vidro de quartzo
Eléctrodos
Mono ou multinível
RIE
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