Os sistemas de plasma Nano podem ser combinados em diferentes variantes de uma forma modular. Abaixo, por favor, encontrar uma visão geral das opções mais comuns utilizando os sistemas de plasma Nano. Os sistemas de nanoplasma são utilizados principalmente nos seguintes sectores:
Análise, arqueologia, automóvel, departamentos de investigação e desenvolvimento, tecnologia de semicondutores, fabrico de pequenas séries, tecnologia de plásticos, engenharia médica, engenharia de micro-sistemas, tecnologia sensorial, esterilização, tecnologia têxtil
Equipamento básico
Os tamanhos das casas variam em função dos componentes/opções
Volume da câmara: dependendo da versão, 18 a 36 litros
Fornecimento de voltagem: 230 V para unidade de mesa, 400 V / 3 fases para unidade autónoma
Fornecimento de gás
Válvulas de agulha
Controladores de fluxo de massa (MFCs)
Câmaras de vácuo
Redondo em aço inoxidável com tampa (aprox. ∅ 267 mm, L 420 mm ou L 600 mm)
Porta de aço inoxidável rectangular, articulada (aprox. L 240 mm x A 240 mm x P 420 mm ou 600 mm)
Porta rectangular de alumínio, articulada (aprox. ∅ 240 mm x 240 mm, L 420 mm ou L 600 mm)
Vidro de quartzo (UHP) redondo com tampa ou com porta articulada (aprox. ∅ 240 mm, L 400 mm ou L 600 mm)
Vidro borosilicato (UHP) redondo com tampa ou com porta articulada (aprox. ∅ 240 mm, L 400 mm ou L 600 mm)
Carga
Porta produtos (opcionalmente, refrigerado a água), barcos de vidro de quartzo, tambor rotativo de pó, tambor rotativo de produtos a granel, painel de alumínio, aço inoxidável, vidro borossilicatado, vidro de quartzo
Eléctrodos
Mono ou multinível
RIE
---