Sistema automático de preparação de amostras

para microscopia eletrônicade bancadaa vácuo

Este dispositivo é utilizado para preparar a peça de bolacha desejada para análise com STEM, TEM, etc., extraindo uma microamostra com um feixe de iões na câmara de vácuo de um sistema FIB. Características Unidade de microamostragem FIB e método de microamostragem FIB Um exemplo de microamostragem FIB Uma amostra de micro-pilar que inclui um ponto de análise é diretamente cortada de um dispositivo semicondutor. As microamostras são cortadas ou aparadas em várias formas, variando a direção de incidência da FIB Exemplo de configuração do sistema Sistema FIB-STEM Um novo sistema de avaliação de dispositivos semicondutores desenvolvido consiste num sistema FIB FB2200 e num STEM HD-2700 200 kV. O sistema efectua desde a procura de pontos defeituosos até à análise da estrutura à escala sub-nanométrica em várias horas.