Neste sistema único, as colunas Ga-FIB e FE-SEM estão em ângulo reto entre si. Esta configuração é ideal para aplicações em que grandes volumes (tecidos biológicos, materiais com grandes estruturas granulares, componentes de semicondutores, etc.) devem ser analisados em 3D sem distorção e com a mais alta resolução, mesmo com campos de visão muito amplos. a análise EBSD 3D também pode ser efectuada com uma amostra completamente estacionária, ou seja, sem movimento da amostra entre o corte FIB e a análise da camada EBSD.
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