Sensor de temperatura AWM40000

de fluxode gáspara o setor médico

Compensado ou não compensado. ±25,0 SCCM, 1,0 SLPM, 6,0 SLPM. Saída analógica. Funcionamento O sensor de caudal mássico de ar com microponte funciona com base na teoria da transferência de calor. O caudal de ar mássico é dirigido através da superfície dos elementos de deteção. A tensão de saída varia proporcionalmente ao caudal mássico de ar ou de outro gás através dos orifícios de entrada e de saída do conjunto. A caixa especialmente concebida dirige e controla com precisão o fluxo de ar através do elemento sensor da microestrutura. A conceção mecânica do conjunto permite-lhe ser facilmente montado em placas de circuito impresso. O sensor de caudal mássico de ar com microponte tem um chip de silício único baseado numa tecnologia avançada de microestrutura. É constituído por uma estrutura em ponte de película fina, termicamente isolada, que contém elementos de aquecimento e de deteção de temperatura. A estrutura em ponte proporciona uma resposta sensível e rápida ao fluxo de ar ou outro gás sobre o chip. Os elementos sensores duplos posicionados em ambos os lados de um elemento de aquecimento central indicam a direção do fluxo, bem como o caudal. As resistências de película espessa e de película fina cortadas a laser proporcionam uma permutabilidade consistente de um dispositivo para outro. O sensor de caudal mássico de ar de microponte utiliza resistências sensíveis à temperatura depositadas numa película fina de nitreto de silício. Estão suspensas sob a forma de duas pontes sobre uma cavidade gravada no silício. O chip está localizado num canal de fluxo de ar dimensionado com precisão para fornecer uma resposta de fluxo repetível. O isolamento térmico altamente eficaz para o aquecedor e as resistências de deteção é obtido através da gravação do espaço da cavidade por baixo das pontes do sensor de caudal.