Elipsômetro espectroscópico Auto SE

para pesquisa

O Auto SE é uma nova ferramenta de medição de películas finas que permite a análise totalmente automática de amostras de películas finas com uma simples operação de botão de pressão. A análise da amostra demora apenas alguns segundos e fornece um relatório completo que descreve totalmente a pilha de película fina - incluindo espessuras de película, constantes ópticas, rugosidade da superfície e inomogeneidades da película. O Auto SE é um instrumento com muitas características que inclui uma fase XYZ automática, imagens em tempo real do local de medição e seleção automática do tamanho do ponto. Estão disponíveis muitos acessórios para se adaptarem a uma vasta gama de aplicações. O Auto SE inclui indicadores de diagnóstico incorporados para a deteção e diagnóstico automático de problemas, com orientação completa do operador para a resolução de problemas. O Auto SE destaca-se pela sua facilidade de utilização e pelas numerosas características automáticas que o tornam um instrumento pronto a utilizar, ideal para medições de rotina de películas finas e controlo de qualidade de dispositivos. CARACTERÍSTICAS Análise de película fina facilitada com rotinas automáticas Sistema com muitas funcionalidades Visão da amostra Microspot até 25x60 µm Grande variedade de acessórios APLICAÇÕES Gama espetral: 440-1000 nm Tamanhos dos pontos: seleção automática 500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm Deteção: CCD - Resolução: 2nm fase de amostragem: mandris de vácuo, altura z 40 mm Visualização da amostra: Câmara CCD - Campo de visão: 1.33x1 mm - Resolução: 10µm Goniómetro: Fixo a 70° - Possibilidade de montagem a 66° e 61,5° Numerosos acessórios Tempo de medição: <2s, típico 5s Precisão: NIST 100nm d ± 4Å, n(632,8nm) ± 0,002 Repetibilidade: NIST 15nm ± 0,2 Å