A longa e bem-sucedida história dos Difratômetros de Pesquisa de Materiais (MRDs) da Malvern Panalytical continua com a geração do X’Pert³ MRD XL. O desempenho e a confiabilidade aprimorados da nova plataforma adicionaram mais capacidade analítica e potência para estudos de dispersão de raios X na:
ciência de materiais avançados
tecnologia científica e industrial de filme fino
caracterização metrológica no desenvolvimento de processos de semicondutores
O X’Pert³ MRD XL lida com uma ampla gama de aplicações com mapeamento completo de wafers de até 200 mm.
Características
Sistema com flexibilidade preparada para o futuro
Os sistemas X'Pert³ MRD oferecem soluções avançadas e inovadoras de difração de raios X, desde a pesquisa até o desenvolvimento e o controle de processos. As tecnologias usadas tornam todos os sistemas atualizáveis em campo para todas as opções existentes e novos desenvolvimentos em hardware e software.
O X'Pert³ Extended MRD (XL) traz maior versatilidade para a gama de sistemas X'Pert³ MRD. Uma plataforma de montagem PreFIX adicional permite a montagem de um espelho de raios X e de um monocromador de alta resolução em linha, aumentando significativamente a intensidade do feixe incidente.
Os benefícios são inúmeros: maior versatilidade de aplicação sem comprometer a qualidade dos dados, difração de raios X de alta resolução com altas intensidades, tempos mais curtos para medições, como mapeamento de espaço recíproco, e reconstrução da configuração padrão para a estendida em minutos, graças ao conceito PreFIX. Com o PreFIX de segunda geração, a reconfiguração é fácil e o posicionamento óptico é mais preciso do que nunca.