Feixe de microeletrodos tridimensionais:
Eléctrodos de TiN, isolador de SiN, blocos de contacto e pistas opacas (TiN), com eléctrodo de referência interno, grelha de eléctrodo 8x8, 60 eléctrodos, espaçamento entre eléctrodos de 100 µm, diâmetro do eléctrodo 12 µm, altura do eléctrodo no total 40 µm, garantia: 6 meses
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