Sistema de produção Atomfab

O Atomfab é o sistema ALD de produção remota de plasma mais rápido do mercado. SOLUÇÕES PARA AS SUAS NECESSIDADES DE PRODUÇÃO CoO competitivo Manutenção rápida e fácil Excelente uniformidade da película Elevada qualidade do material Poucos danos no substrato Tempos de ciclo mais rápidos, elevado rendimento Manuseamento de bolachas em cluster e automatizado DESEMPENHO A tecnologia ALD da Atomfab oferece películas ultra-finas controladas com precisão para aplicações avançadas à escala nanométrica, com revestimento conforme de estruturas de substratos sensíveis. BENEFÍCIOS DO PROCESSO PARA PASSIVAÇÃO DE DISPOSITIVOS DE POTÊNCIA E RF Processos garantidos pelos nossos engenheiros Suporte de processo vitalício para processos adicionais/novos Processamento de plasma de baixo dano Deposição de alta qualidade com baixa contaminação do filme Baixos níveis de partículas Tempos curtos de exposição ao plasma, permitindo um elevado rendimento Pré-tratamentos de superfície por plasma VANTAGENS DO PLASMA ALD PARA DISPOSITIVOS DE GaN, POTÊNCIA E RF Com pré-tratamento por plasma antes da deposição para melhorar a qualidade da interface Deposição uniforme e com poucos danos ALD de plasma remoto com energia de iões controlada de quase zero a 30 eV Passivação ALD, dielétrico de porta por filmes de Al2O3. APOIO GLOBAL AO CLIENTE A Oxford Instruments está empenhada em fornecer uma assistência global ao cliente abrangente, flexível e fiável. Oferecemos um serviço de excelente qualidade durante toda a vida útil do seu sistema. O software de diagnóstico remoto proporciona um diagnóstico e resolução de avarias rápido e fácil Os contratos de suporte estão disponíveis para se adequarem ao orçamento e à situação Peças de substituição globais em locais estratégicos para uma resposta rápida