Aparelho para teste de espessura SK-FTM

de laboratórioautomáticocompacto

O monitor de espessura de película compacto é um medidor de espessura de película espetrofotométrico de reflexão que utiliza uma pequena sonda de reflexão e é aplicável em todas as situações, desde o nível laboratorial até à inspeção em linha a 100% no processo de produção. Tem uma excelente capacidade de manutenção e pode ser utilizado para incorporação em equipamento de processo e gestão de linha. É possível a medição simultânea de até 9 tipos de películas transparentes. Pode ser utilizado como um monitor em linha ou de ponto final para os vários processos de películas multicamadas. A sonda compacta pode ser instalada num pequeno espaço dentro da ferramenta de processo. Também é possível avaliar o rácio de mistura da camada mista ou a cristalinidade do poli-silício utilizando a teoria EMA. Sonda compacta com fibra ótica pode ser instalada num espaço pequeno no interior da ferramenta de processamento. Boa repetibilidade da medição da espessura da película 0,1 nm(3a) Medição da espessura de películas multicamadas até 9 camadas Função de análise de materiais - Avaliação do rácio de mistura do material compósito utilizando EMA - Cristalinidade e análise das constantes ópticas Sem fios (opção) Inclui software de deteção do ponto final da espessura da película Fase de mapeamento automático(Opção) Requisitos de sistema recomendados Temperatura ambiente - : 18 a 45 ℃ Longo prazo - : < ±2.0℃/24Horas Curto prazo - : < ±1.0℃/1Hora Humidade - : 45±20% (Sem condensação)