Aparelho para teste de espessura SK-iFTM

para exames de imagempara aplicações médicas

O monitor de espessura de película por imagem é uma ferramenta de metrologia que pode visualizar a distribuição da espessura de uma película transparente multicamada. Pode visualizar a distribuição da espessura da película com uma resolução de espessura de 0,1 nm, utilizando a reflectometria espectroscópica. Visualiza a uniformidade da espessura da película Mede a espessura/qualidade da película no campo de visão do microscópio, mostra a distribuição 3D Resolução da espessura da película : <0,1nm Boa resolução de espessura equivalente às ferramentas de espetrometria. O comprimento de onda pode ser selecionado entre 450nm e 750nm com uma precisão de 1nm. Alta velocidade / Medição multicamada até 9 camadas Processamento paralelo através da reflectometria espectroscópica Aplicações avançadas ① Película de várias centenas de repetições, como os filtros de interferência passa-banda, e película multicamada composta, como a estrutura Trench ② Estimativa da densidade de padrões submicrónicos utilizando a Aproximação do Meio Eficaz (EMA) ③ Avaliação da cristalinidade da área local, como o recozimento a laser Medição da distribuição da espessura da película na região especificada do campo de visão da objetiva. Medir a área de 6,6x8,8mm□ utilizando a objetiva de 1x. Meça a resolução espacial de 0,5um usando a objetiva de 50x.