Grande superfície de alumínio fresado circular grande com uniformidade de temperatura melhor do que 1% em toda a superfície de aquecimento. Projetado especificamente para trabalhar com 12” (304,8 mm) de diâmetro ou wafers de silício menores e outras amostras em que a precisão da temperatura e a uniformidade da superfície são essenciais.
Descrição
A placa de cozimento programável Torrey Pines Scientific WaferPlate™ é uma placa de aquecimento digital totalmente programável projetada especificamente para assar bolachas de silício. Na operação manual, basta definir uma temperatura alvo e a unidade irá e manterá essa temperatura exata dentro de ± 1 °C. No modo programável, as rotinas podem ser armazenadas na memória para recuperação e uso instantâneos. A rotina armazenada será executada automaticamente e exatamente da mesma forma, repetidas vezes.
Os programas podem ser simples ou complexos, dependendo da necessidade. Várias temperaturas, taxas de rampa de temperatura, se desejado, e tempos de permanência podem ser armazenados. Esses programas podem ser escritos e armazenados no controle remoto fornecido com a unidade, ou os programas podem ser tão simples ou complexos quanto necessário quando escritos pelo usuário em um PC e executados por esse PC através da porta RS-232 I/O em parte traseira do aquecedor.